Аннотация:
Разработан метод создания Ge/Si-структур с пространственно упорядоченными наноостровками при гетероэпитаксии на структурированных подложках Si(001) с квадратной решеткой ямок травления. Исследовано влияние глубины и периода расположения затравочных областей (ямок травления) на зарождение и рост Ge(Si)-наноостровков. Показано, что при изменении глубины ямок формируются как отдельные наноостровки внутри ямок, так и упорядоченные группы островков по их периметру. Обнаружено, что размеры наноостровков, формирующихся внутри ямок, увеличиваются с ростом расстояния между ямками от 1 до 4 мкм. Ярко выраженный сигнал фотолюминесценции от структур с пространственно упорядоченными квантовыми точками с периодом 1 мкм и больше наблюдается в диапазоне энергий 0.9–1.0 эВ.
Поступила в редакцию: 08.02.2018 Принята в печать: 15.02.2018
Образец цитирования:
Ж. В. Смагина, В. А. Зиновьев, Г. К. Кривякин, Е. Е. Родякина, П. А. Кучинская, Б. И. Фомин, А. Н. Яблонский, М. В. Степихова, А. В. Новиков, А. В. Двуреченский, “Исследование структурных и излучательных свойств Ge(Si) квантовых точек, упорядоченных на поверхности Si(001)”, Физика и техника полупроводников, 52:9 (2018), 1028–1033; Semiconductors, 52:9 (2018), 1150–1155
\RBibitem{SmaZinKri18}
\by Ж.~В.~Смагина, В.~А.~Зиновьев, Г.~К.~Кривякин, Е.~Е.~Родякина, П.~А.~Кучинская, Б.~И.~Фомин, А.~Н.~Яблонский, М.~В.~Степихова, А.~В.~Новиков, А.~В.~Двуреченский
\paper Исследование структурных и излучательных свойств Ge(Si) квантовых точек, упорядоченных на поверхности Si(001)
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2018
\vol 52
\issue 9
\pages 1028--1033
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts5734}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTP.2018.09.46151.8841}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=36903547}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2018
\vol 52
\issue 9
\pages 1150--1155
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782618090191}
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5734
https://www.mathnet.ru/rus/phts/v52/i9/p1028
Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:
Zh.V. Smagina, V.A. Zinovyev, A.F. Zinovieva, M.V. Stepikhova, A.V. Peretokin, E.E. Rodyakina, S.A. Dyakov, A.V. Novikov, A.V. Dvurechenskii, “Luminescent properties of spatially ordered Ge/Si quantum dots epitaxially grown on a pit-patterned “silicon-on-insulator” substrate”, Journal of Luminescence, 249 (2022), 119033
Zh. V. Smagina, V. A. Zinovyev, M. V. Stepikhova, A. V. Peretokin, S. A. Dyakov, E. E. Rodyakina, A. V. Novikov, A. V. Dvurechenskii, “Dependence of the Luminescence Properties of Ordered Groups of Ge(Si) Nanoislands on the Parameters of the Pit-Patterned Surface of a Silicon-on-Insulator Substrate”, Semiconductors, 56:2 (2022), 101
S.A. Rudin, V.A. Zinovyev, Zh.V. Smagina, P.L. Novikov, A.V. Nenashev, K.V. Pavsky, “Groups of Ge nanoislands grown outside pits on pit-patterned Si substrates”, Journal of Crystal Growth, 593 (2022), 126763
Alexey V. Novikov, Zhanna V. Smagina, Margarita V. Stepikhova, Vladimir A. Zinovyev, Sergey A. Rudin, Sergey A. Dyakov, Ekaterina E. Rodyakina, Alexey V. Nenashev, Sergey M. Sergeev, Artem V. Peretokin, Anatoly V. Dvurechenskii, “One-Stage Formation of Two-Dimensional Photonic Crystal and Spatially Ordered Arrays of Self-Assembled Ge(Si) Nanoislandson Pit-Patterned Silicon-On-Insulator Substrate”, Nanomaterials, 11:4 (2021), 909
Zh. V. Smagina, V. A. Zinoviev, S. A. Rudin, E. E. Rodyakina, P. L. Novikov, A. V. Nenashev, A. V. Dvurechenskii, “Self-Organization of Ge(Si) Nanoisland Groups on Pit-Patterned Si(100) Substrates”, Semiconductors, 54:14 (2020), 1866
Ж. В. Смагина, А. В. Новиков, М. В. Степихова, В. А. Зиновьев, Е. Е. Родякина, А. В. Ненашев, С. М. Сергеев, А. В. Перетокин, П. А. Кучинская, М. В. Шалеев, С. А. Гусев, А. В. Двуреченский, “Люминесценция пространственно упорядоченных одиночных и групп самоформирующихся Ge(Si) наноостровков, встроенных в фотонные кристаллы”, Физика и техника полупроводников, 54:8 (2020), 708–715; Zh. V. Smagina, A. V. Novikov, M. V. Stepikhova, V. A. Zinov'ev, E. E. Rodyakina, A. V. Nenashev, S. M. Sergeev, A. V. Peretokin, P. A. Kuchinskaya, M. V. Shaleev, S. A. Gusev, A. V. Dvurechenskii, “Luminescence of spatially ordered self-assembled solitary Ge(Si) nanoislands and their groups incorporated into photonic crystals”, Semiconductors, 54:8 (2020), 853–859
Ж. В. Смагина, В. А. Зиновьев, Е. Е. Родякина, Б. И. Фомин, М. В. Степихова, А. Н. Яблонский, С. А. Гусев, А. В. Новиков, А. В. Двуреченский, “Упорядоченные массивы квантовых точек Ge(Si), встроенные в двумерные фотонные кристаллы”, Физика и техника полупроводников, 53:10 (2019), 1366–1371; Zh. V. Smagina, V. A. Zinovyev, E. E. Rodyakina, B. I. Fomin, M. V. Stepikhova, A. N. Yablonskii, S. A. Gusev, A. V. Novikov, A. V. Dvurechenskii, “Ordered arrays of Ge(Si) quantum dots embedded in two-dimensional photonic crystals”, Semiconductors, 53:10 (2019), 1329–1333