Loading [MathJax]/jax/output/CommonHTML/jax.js
Успехи физических наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


УФН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи физических наук, 2019, том 189, номер 3, страницы 323–334
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.2018.06.038447 (Mi ufn6375) 		 
Эта публикация цитируется в 20 научных статьях (всего в 20 статьях)

КОНФЕРЕНЦИИ И СИМПОЗИУМЫ

Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)

Д. Б. Абраменкоab, П. С. Анциферовa, Д. И. Астаховac, А. Ю. Виноходовb, И. Ю. Вичевd, Р. Р. Гаязовa, А. С. Грушинd, Л. А. Дорохинa, В. В. Ивановab, Д. А. Кимd, К. Н. Кошелевab, П. В. Крайновe, М. С. Кривокорытовabe, В. М. Кривцунabe, Б. В. Лакатошe, А. А. Лашb, В. В. Медведевace, А. Н. Рябцевa, Ю. В. Сидельниковa, Е. П. Снегирёвa, А. Д. Соломяннаяd, М. В. Спиридоновfb, И. П. Цыгвинцевd, О. Ф. Якушевg, А. А. Якушкинb

a Институт спектроскопии РАН, Москва, г. Троицк
b ООО "ЭУФ Лабс", г. Троицк, г. Москва
c ISTEQ B.V., Eindhoven, Netherlands
d Институт прикладной математики им. М.В. Келдыша РАН, г. Москва
e Московский физико-технический институт (государственный университет), г. Долгопрудный, Московская обл.
f Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, г. Москва
g Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, г. Москва
PDF полного текста (1533 kB) Список цитирования (20)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.2018.06.038447
Аннотация: Описаны результаты исследований, посвящённых разработке плазменных источников экстремального ультрафиолетового излучения для литографии нового поколения и разработке методов спектральной диагностики таких источников.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 14-11-00699
Российский фонд фундаментальных исследований 16-02-00753
Работа выполнена при частичной финансовой поддержке Российского научного фонда (проект 14-11-00699) и Российского фонда фундаментальных исследований (договор 16-02-00753).
Поступила: 28 августа 2018 г.
Одобрена в печать: 20 июня 2018 г.
Англоязычная версия:
Physics–Uspekhi, 2019, Volume 62, Issue 3, Pages 304–314
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNe.2018.06.038447
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 42.82.Cr, 52.25.Os, 52.59.-f, 52.70.-m, 52.77.-j
Образец цитирования: Д. Б. Абраменко, П. С. Анциферов, Д. И. Астахов, А. Ю. Виноходов, И. Ю. Вичев, Р. Р. Гаязов, А. С. Грушин, Л. А. Дорохин, В. В. Иванов, Д. А. Ким, К. Н. Кошелев, П. В. Крайнов, М. С. Кривокорытов, В. М. Кривцун, Б. В. Лакатош, А. А. Лаш, В. В. Медведев, А. Н. Рябцев, Ю. В. Сидельников, Е. П. Снегирёв, А. Д. Соломянная, М. В. Спиридонов, И. П. Цыгвинцев, О. Ф. Якушев, А. А. Якушкин, “Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)”, УФН, 189:3 (2019), 323–334; Phys. Usp., 62:3 (2019), 304–314
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{AbrAntAst19}
\by Д.~Б.~Абраменко, П.~С.~Анциферов, Д.~И.~Астахов, А.~Ю.~Виноходов, И.~Ю.~Вичев, Р.~Р.~Гаязов, А.~С.~Грушин, Л.~А.~Дорохин, В.~В.~Иванов, Д.~А.~Ким, К.~Н.~Кошелев, П.~В.~Крайнов, М.~С.~Кривокорытов, В.~М.~Кривцун, Б.~В.~Лакатош, А.~А.~Лаш, В.~В.~Медведев, А.~Н.~Рябцев, Ю.~В.~Сидельников, Е.~П.~Снегирёв, А.~Д.~Соломянная, М.~В.~Спиридонов, И.~П.~Цыгвинцев, О.~Ф.~Якушев, А.~А.~Якушкин
\paper Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)
\jour УФН
\yr 2019
\vol 189
\issue 3
\pages 323--334
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ufn6375}
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNr.2018.06.038447}
\adsnasa{https://adsabs.harvard.edu/cgi-bin/bib_query?2019PhyU...62..304A}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=37038658}
\transl
\jour Phys. Usp.
\yr 2019
\vol 62
\issue 3
\pages 304--314
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNe.2018.06.038447}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=000469214700010}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85070730766}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn6375
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v189/i3/p323
    Публикации по теме
    Эта публикация цитируется в следующих 20 статьяx:
    1. V. E. Guseva, A. N. Nechay, A. A. Perekalov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, “Investigation of the Emission Properties of Gas-Jet Targets in the “Water Transparency Window” of 2.3–4.4 nm under Pulsed Laser Excitation”, Tech. Phys., 69:4 (2024), 876  crossref
    2. S. A. Garakhin, I. S. Dubinin, S. Yu. Zuev, V. N. Polkovnikov, N. I. Chkhalo, “Research and Creation of Broadband X-Ray Mirrors with a Spectral Transmission Band Coinciding with Emission Lines and the Possibility of Filtering”, Tech. Phys., 69:4 (2024), 864  crossref
    3. S. A. Garakhin, I. G. Zabrodin, S. Yu. Zuev, A. Ya. Lopatin, A. N. Nechai, A. E. Pestov, A. A. Perekalov, R. S. Pleshkov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salaschenko, R. M. Smertin, N. N. Tsybin, N. I. Chkhalo, “Measurements of the Absolute Values of the Radiation Intensity in the Wavelength Range of 6.6–32 nm of Stainless Steel Targets with Pulsed Laser Excitation”, Tech. Phys., 69:4 (2024), 870  crossref
    4. M. A. Korepanov, M. R. Koroleva, E. A. Mitrukova, A. N. Nechay, “Mathematical Modeling of the Gas-Jet Target for Extreme Ultraviolet Laser”, Rus. J. Nonlin. Dyn., 20:3 (2024), 413–424  mathnet  crossref
    5. N. I. Chkhalo, “New Concept for the Development of High-Performance X-ray Lithography”, Russ Microelectron, 53:5 (2024), 397  crossref
    6. A. A. Bay, “Application of Adaptive Hierarchical Grids to Simulation of Laser-Generated Plasma Fluxes”, Math Models Comput Simul, 16:S2 (2024), S181  crossref
    7. В. Е. Гусева, С. А. Гарахин, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, Квантовая электроника, 53:5 (2023), 425–429  mathnet; Bull. Lebedev Physics Institute, 50:suppl. 9 (2023), S1042–S1049  crossref
    8. В. Е. Гусева, М. А. Корепанов, М. Р. Королева, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Способы формирования газовых, кластерных спрейных и жидкостных мишеней в лазерно-плазменном источнике излучения”, Приборы и техника эксперимента, 2023, № 4, 145  crossref; V. E. Guseva, M. A. Korepanov, M. R. Koroleva, A. N. Nechay, A. A. Perekalov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, “Methods for forming gas, cluster spray, and liquid targets in a laser-plasma radiation source”, Instrum Exp Tech, 66:4 (2023), 702  crossref
    9. Kai Zou, Wenbin Zhang, Sheng Guan, Haiyi Sun, Kailun Peng, Jiajie Zou, Xuehong Li, Cheng Wang, Yuxin Leng, Ruihong Liang, Zhiyong Zhou, “Piezoelectric high temperature liquid droplet spraying component”, Journal of Inorganic Materials, 38:8 (2023), 987  crossref
    10. Д. Г. Реунов, И. В. Малышев, А. А. Перекалов, А. Н. Нечай, Н. И. Чхало, “Определение размера лазерно-плазменного источника ЭУФ-излучения для микроскопа”, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2023, № 8, 16  crossref; D. G. Reunov, I. V. Malyshev, A. A. Perekalov, A. N. Nechay, N. I. Chkhalo, “Determining the Size of the EUV Laser-plasma Source for a Microscope”, J. Surf. Investig., 17:4 (2023), 859  crossref
    11. V. E. Guseva, A. N. Nechay, A. A. Perekalov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, “Investigation of emission spectra of plasma generated by laser pulses on Xe gas-jet targets”, Appl. Phys. B, 129:10 (2023), 155  crossref
    12. N. I. Chkhalo, N. N. Salashchenko, “Current state and prospects for the development of X-ray lithography”, J. Surf. Investig., 17:1 (2023), 307  crossref
    13. N. I. Chkhalo, K. V. Durov, A. N. Nechay, A. A. Perekalov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, “On the prospects of lithography in the region of wavelengths shorter than 13.5 nm”, J. Surf. Investig., 17:S1 (2023), S226  crossref
    14. A. N. Nechay, A. A. Perekalov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, “Radiation of a plasma generated by laser pulse on CO2, CHF3, and CF4 gas-jet targets in the “water transparency window” 2.3–4.4 nm”, Appl. Phys. B, 129:3 (2023)  crossref
    15. N. V. Kalinin, M. V. Timshina, “The dynamics and nonequilibrium ionic composition of a highly ionized plasma сreated by interaction of a high-power laser-radiation pulse with a cylindrical plasma target”, Tech. Phys. Lett., 48:3 (2022), 119  crossref
    16. А. В. Водопьянов, С. А. Гарахин, И. Г. Забродин, С. Ю. Зуев, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, А. Е. Пестов, А. А. Перекалов, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Р. М. Смертин, Б. А. Уласевич, Н. И. Чхало, “Измерения абсолютных интенсивностей спектральных линий ионов Kr, Ar и O в диапазоне длин волн 10–18 нм при импульсном лазерном возбуждении”, Квантовая электроника, 51:8 (2021), 700–707  mathnet; Quantum Electron., 51:8 (2021), 700–707  crossref  isi  elib
    17. A. N. Nechay, A. A. Perekalov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, “Emission spectra of light inert gases ne and ar in the 3-20 nm range under pulsed laser excitation using various gas jets as targets”, Opt. Spectrosc., 129:2 (2021), 185–190  crossref  isi
    18. V A Khokhlov, S I Ashitkov, N A Inogamov, P S Komarov, A N Parshikov, Yu V Petrov, S A Romashevsky, E V Struleva, P A Tsygankov, V V Zhakhovsky, “Laser ablation of a multilayer target with layers of nanometer thickness”, J. Phys.: Conf. Ser., 1787:1 (2021), 012022  crossref  mathscinet
    19. И. Ю. Вичев, Д. А. Ким, А. Д. Соломянная, А. С. Грушин, “THERMOS: Согласованное решение уравнения переноса излучения с поуровневой кинетикой в простейших геометриях”, Препринты ИПМ им. М. В. Келдыша, 2020, 056, 30 с.  mathnet  crossref
    20. Grigoryev S.Yu., Lakatosh B.V., Krivokorytov M.S., Zhakhovsky V.V., Dyachkov S.A., Ilnitsky D.K., Migdal K.P., Inogamov N.A., Vinokhodov A.Yu., Kompanets V.O., Sidelnikov Yu.V., Krivtsun V.M., Koshelev K.N., Medvedev V.V., “Expansion and Fragmentation of a Liquid-Metal Droplet By a Short Laser Pulse”, Phys. Rev. Appl., 10:6 (2018), 064009  crossref  isi  scopus
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи физических наук Physics-Uspekhi
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:354
    PDF полного текста:48
    Список литературы:58
    Первая страница:15
     
      Обратная связь:
    math-net2025_03@mi-ras.ru     		 Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025