Аннотация:
Измерены абсолютные интенсивности спектральных линий ионов Kr, Ar и O (газ СО$_2$), представляющие интерес для рефлектометрии, микроскопии и литографии в диапазоне длин волн 10–18 нм. Использовалось импульсное возбуждение Nd : YAG-лазером с длиной волны излучения $\lambda$ = 1064 нм, энергией импульса 0.8 Дж и его длительностью 5.2 нс при частоте следования импульсов 10 Гц. Формирование мишеней происходило при истечении газа через импульсное сверхзвуковое коническое сопло при давлении газов на входе в него 3.5 бар. Подробно описаны спектрометр на основе многослойных рентгеновских зеркал и процедура его калибровки. Измерены абсолютные интенсивности спектральных линий Kr IX ($\lambda$ = 11.5 нм, число фотонов N= 9.3 $\times$ 10$^{12}$ фотон./имп.), Ar VIII ($\lambda$ = 13.84 нм, N = 3 $\times$ 10$^{12}$ фотон./имп.) и O VI ($\lambda$ = 12.98 нм, N = 5.17 $\times$ 10$^{12}$ фотон./имп.). Проведено сравнение результатов с данными, полученными для ионов Xe в тех же экспериментальных условиях на тех же длинах волн.
Работа выполнена в рамках программы НЦМУ “Центр фотоники” при финансировании Министерством науки и высшего образования РФ (соглашение № 075-15-2020-906).
Поступила в редакцию: 25.02.2021 Исправленный вариант: 08.06.2021
Образец цитирования:
А. В. Водопьянов, С. А. Гарахин, И. Г. Забродин, С. Ю. Зуев, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, А. Е. Пестов, А. А. Перекалов, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Р. М. Смертин, Б. А. Уласевич, Н. И. Чхало, “Измерения абсолютных интенсивностей спектральных линий ионов Kr, Ar и O в диапазоне длин волн 10–18 нм при импульсном лазерном возбуждении”, Квантовая электроника, 51:8 (2021), 700–707 [Quantum Electron., 51:8 (2021), 700–707]
\RBibitem{VodGarZab21}
\by А.~В.~Водопьянов, С.~А.~Гарахин, И.~Г.~Забродин, С.~Ю.~Зуев, А.~Я.~Лопатин, А.~Н.~Нечай, А.~Е.~Пестов, А.~А.~Перекалов, Р.~С.~Плешков, В.~Н.~Полковников, Н.~Н.~Салащенко, Р.~М.~Смертин, Б.~А.~Уласевич, Н.~И.~Чхало
\paper Измерения абсолютных интенсивностей спектральных линий ионов Kr, Ar и O в диапазоне длин волн 10--18 нм при импульсном лазерном возбуждении
\jour Квантовая электроника
\yr 2021
\vol 51
\issue 8
\pages 700--707
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/qe17892}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=47046034}
\transl
\jour Quantum Electron.
\yr 2021
\vol 51
\issue 8
\pages 700--707
\crossref{https://doi.org/10.1070/QEL17598}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=000698481800007}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85113312506}
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe17892
https://www.mathnet.ru/rus/qe/v51/i8/p700
Эта публикация цитируется в следующих 8 статьяx:
Valerie E. Guseva, Andrey N. Nechay, Alexander A. Perekalov, Nicolay I. Chkhalo, Photonics, 11:5 (2024), 438
V. E. Guseva, M. S. Mikhailenko, A. N. Nechai, A. A. Perekalov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, Instrum Exp Tech, 67:1 (2024), 67
S. A. Garakhin, A. Ya. Lopatin, A. N. Nechay, A. A. Perekalov, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, N. I. Chkhalo, Tech. Phys., 69:2 (2024), 229
K. P. Gaikovich, I. V. Malyshev, D. G. Reunov, N. I. Chkhalo, Tech. Phys., 69:6 (2024), 1555
N. I. Chkhalo, Russ Microelectron, 53:5 (2024), 397
В. Е. Гусева, С. А. Гарахин, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, Квантовая электроника, 53:5 (2023), 425–429; Bull. Lebedev Physics Institute, 50:suppl. 9 (2023), S1042–S1049
A. N. Nechay, A. A. Perekalov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, Appl. Phys. B, 129:3 (2023)
V. E. Guseva, A. N. Nechay, A. A. Perekalov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, Appl. Phys. B, 129:10 (2023)
Цитирование в формате AMSBIB
Обратная связь: