Аннотация:
Исследована возможность увеличения длительности импульса генерации ArF-лазера (длина волны 193 нм) путем применения формирующей искусственной линии с нелинейными дросселями. Описан ArF-лазер (максимальная энергия импульса излучения 15 мДж, длительность лазерных импульсов 18 нс, частота следования импульсов 1 кГц) с полностью твердотельным генератором накачки.
Образец цитирования:
С. И. Мошкунов, В. Ю. Хомич, В. А. Ямщиков, “Увеличение длительности импульса излучения ArF-лазера с твердотельным генератором накачки”, Квантовая электроника, 41:4 (2011), 366–369 [Quantum Electron., 41:4 (2011), 366–369]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe14543
https://www.mathnet.ru/rus/qe/v41/i4/p366
Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:
Nikolai A. Vasnev, Nikolai V. Karasev, Maxim V. Trigub, 2022 IEEE 23rd International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM), 2022, 342