Loading [MathJax]/jax/output/CommonHTML/jax.js
Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2019, том 89, выпуск 11, страницы 1783–1788
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48345.136-19 (Mi jtf5475) 		 
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

XXIII Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 11-14 марта 2019 г.

Влияние термического отжига на свойства многослойных зеркал Mo/Be

Р. М. Смертинa, С. А. Гарахинa, С. Ю. Зуевa, А. Н. Нечайa, В. Н. Полковниковa, Н. Н. Салащенкоa, М. В. Свечниковa, M. G. Sertsub, A. Sokolovb, Н. И. Чхалоa, F. Schäfersb, П. А. Юнинa

a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Helmgoltz-Zentrum Berlin, Berlin, Germany
PDF полного текста (490 kB) Список цитирования (3)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48345.136-19
Аннотация: Рассмотрены эффекты термического воздействия на рентгенооптические характеристики, структуру пленок и переходных областей в многослойных зеркал Mo/Be, оптимизированных на максимум отражения в окрестности длины волны 11.2–11.4 nm при нормальном падении. Температура отжига изменялась в пределах до 300∘C, время отжига составляло 1 и 4 h. Показано, что в результате термического отжига в течение 1 h в вакууме при температуре 300∘C наблюдается увеличение коэффициента отражения, однако с увеличением времени отжига до 4 h коэффициент отражения падает. Наблюдается уменьшение размеров кристаллитов в пленках молибдена с одновременной перестройкой профиля переходных областей от экспоненциального к линейному. Период многослойных зеркал не изменялся при всех режимах отжига.
Ключевые слова: многослойные зеркала, пленки, межслоевые области, термическая стабильность, рентгеновское излучение.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 17-52-150006
18-02-00588
Министерство образования и науки Российской Федерации 0035 2014-0204
Работа выполнена при поддержке грантов РФФИ 17-52-150006 и 18-02-00588, а также в рамках государственного задания ИФМ РАН (тема № 0035 2014-0204).
Поступила в редакцию: 28.03.2019
Исправленный вариант: 28.03.2019
Принята в печать: 15.04.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2019, Volume 64, Issue 11, Pages 1692–1697
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784219110252
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Р. М. Смертин, С. А. Гарахин, С. Ю. Зуев, А. Н. Нечай, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, M. G. Sertsu, A. Sokolov, Н. И. Чхало, F. Schäfers, П. А. Юнин, “Влияние термического отжига на свойства многослойных зеркал Mo/Be”, ЖТФ, 89:11 (2019), 1783–1788; Tech. Phys., 64:11 (2019), 1692–1697
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SmeGarZue19}
\by Р.~М.~Смертин, С.~А.~Гарахин, С.~Ю.~Зуев, А.~Н.~Нечай, В.~Н.~Полковников, Н.~Н.~Салащенко, М.~В.~Свечников, M.~G.~Sertsu, A.~Sokolov, Н.~И.~Чхало, F.~Sch\"afers, П.~А.~Юнин
\paper Влияние термического отжига на свойства многослойных зеркал Mo/Be
\jour ЖТФ
\yr 2019
\vol 89
\issue 11
\pages 1783--1788
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5475}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48345.136-19}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=41300875}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2019
\vol 64
\issue 11
\pages 1692--1697
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784219110252}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5475
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v89/i11/p1783
    • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    1. Gleb D. Demin, Pavel P. Kim, Mikhail M. Pozdnyakov, Nikolay A. Filippov, Nikolay A. Dyuzhev, 2022 IEEE 23rd International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM), 2022, 88  crossref
    2. Aidar U. Gaisin, Andrei V. Karataev, Anton V. Solomonov, Roman S. Pleshkov, Nikolay I. Chkhalo, Elena O. Filatova, “Effect of annealing on the interface formation in Mo/Be multilayer structures without/with a barrier layer”, Phys. Chem. Chem. Phys., 23:41 (2021), 23978  crossref
    3. Р. М. Смертин, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, П. А. Юнин, А. Л. Тригуб, “Микроструктура переходных границ в многослойных Мо/Ве-системах”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1884–1892  mathnet  crossref; R. M. Smertin, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, P. A. Yunin, A. L. Trigub, “The microstructure of transition boundaries in multilayer Mo/Be systems”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1800–1808  mathnet  crossref
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:70
    PDF полного текста:34
     
      Обратная связь:
    math-net2025_03@mi-ras.ru     		 Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025