Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js
Успехи физических наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


УФН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи физических наук, 2020, том 190, номер 1, страницы 92–106
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038623 (Mi ufn6629) 		 
Эта публикация цитируется в 50 научных статьях (всего в 50 статьях)

КОНФЕРЕНЦИИ И СИМПОЗИУМЫ

Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия

В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
PDF полного текста (1046 kB) Список цитирования (50)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038623
Аннотация: Даётся обзор современного состояния области физики и технологии многослойных бериллийсодержащих зеркал, предназначенных для проекционной литографии и изучения короны Солнца в вакуумном ультрафиолетовом (ВУФ) диапазоне. Описывается методика изготовления и изучения бериллийсодержащих многослойных зеркал. Приводятся результаты последних исследований внутреннего строения и коэффициентов отражения в ВУФ-диапазоне многослойных зеркал Mo/Be, Mo/Si, Be/Al и Be/Mg. Объясняется влияние Si- и Be-прослоек на коэффициенты отражения. Обсуждаются направления дальнейших исследований по бериллийсодержащим зеркалам.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации 0035-2014-0204
Российский фонд фундаментальных исследований 18-32-00173
19-07-00173
19-02-00081
18-02-173
18-02-00588
17-52-150006
18-42-520007
18-32-00671
Работа выполнена в рамках государственного задания ИФМ РАН (тема 0035-2014-0204) при поддержке Российским фондом фундаментальных исследований (гранты 19-07-00173, 19-02-00081, 18-02-00173, 18-02-00588, 17-52-150006, 18-42-520007, 18-32-00671, 18-32-00173).
Поступила: 18 июля 2019 г.
Одобрена в печать: 22 мая 2019 г.
Англоязычная версия:
Physics–Uspekhi, 2020, Volume 63, Issue 1, Pages 83–95
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNe.2019.05.038623
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 07.60.-j, 07.85.Fv, 42.79.-e, 68.35.Ct, 68.35.Fx, 68.47.De, 68.55.A-, 68.65.Ac, 81.15.-z
Образец цитирования: В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, “Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия”, УФН, 190:1 (2020), 92–106; Phys. Usp., 63:1 (2020), 83–95
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PolSalSve20}
\by В.~Н.~Полковников, Н.~Н.~Салащенко, М.~В.~Свечников, Н.~И.~Чхало
\paper Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия
\jour УФН
\yr 2020
\vol 190
\issue 1
\pages 92--106
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ufn6629}
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038623}
\adsnasa{https://adsabs.harvard.edu/cgi-bin/bib_query?2020PhyU...63...83P}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=43270021}
\transl
\jour Phys. Usp.
\yr 2020
\vol 63
\issue 1
\pages 83--95
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNe.2019.05.038623}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=000537855600007}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85084758667}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn6629
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v190/i1/p92
    КОНФЕРЕНЦИИ И СИМПОЗИУМЫ
    Эта публикация цитируется в следующих 50 статьяx:
    1. A. V. Solomonov, S. S. Sakhonenkov, E. O. Filatova, “Study of the Effect of Si and Be Barrier Layers on Crystallization of Cr/Sc Multilayer X-ray Mirror”, Crystallogr. Rep., 69:1 (2024), 58  crossref
    2. E.O. Filatova, S.S. Sakhonenkov, A.V. Solomonov, R.M. Smertin, V.N. Polkovnikov, “Increasing the thermal stability of a Cr/Sc multilayer by nitriding”, Applied Surface Science, 644 (2024), 158791  crossref
    3. V S Chumak, S Peredkov, A Yu Devizenko, I A Kopylets, Yu P Pershyn, “Reflective x-ray masks for x-ray lithography”, J. Micromech. Microeng., 34:4 (2024), 045008  crossref
    4. Aidar U. Gaisin, Elena O. Filatova, “Effect of low-temperature oxidation and heat treatment under vacuum on the Al–Be interdiffusion process”, Phys. Chem. Chem. Phys., 26:2 (2024), 780  crossref
    5. А. В. Соломонов, С. С. Сахоненков, Е. О. Филатова, “Изучение влияния барьерных слоев Si и Be на кристаллизацию многослойного рентгеновского зеркала Cr/Sc”, Kristallografiâ, 69:1 (2024), 84  crossref
    6. E.O. Filatova, A.V. Karataev, A.U. Gaisin, S.S. Sakhonenkov, V.N. Polkovnikov, N.I. Chkhalo, “Effect of annealing on layer intermixing in nanoscale Cr/Ti multilayers depending on the period value”, Applied Surface Science, 2024, 160839  crossref
    7. Ruslan Smertin, Nikolai Chkhalo, Sergey Garakhin, Vladimir Polkovnikov, Sergey Zuev, “Stress, reflectance, and stability of Ru/Be multilayer coatings with Mo interlayers near the 11 nm wavelength”, Opt. Lett., 49:13 (2024), 3690  crossref
    8. N. I. Chkhalo, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, R. A. Shaposhnikov, “Prospective Wavelengths for Projection Lithography Using Synchrotron Radiation”, Tech. Phys., 69:4 (2024), 818  crossref
    9. R. A. Shaposhnikov, S. Yu. Zuev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, “Ru/Sr Multilayer Mirrors for the Spectral Range 9–12 nm”, Tech. Phys., 69:3 (2024), 713  crossref
    10. A. A. Akhasakhalyan, S. A. Garakhin, F. A. Dar'in, M. V. Zorina, V. V. Kriventsov, D. D. Pershin, A. E. Pestov, R. S. Pleshkov, V. N. Polkovnikov, Ya. V. Rakshun, N. N. Salaschenko, S. S. Svetokhin, M. V. Svechnikov, D. S. Sorokoletov, V. A. Chernov, N. I. Chkhalo, “Manufacturing and Research of Mirrors with a Wide Bandwidth for Synchrotron Applications”, Tech. Phys., 69:3 (2024), 468  crossref
    11. S. A. Garakhin, I. G. Zabrodin, S. Yu. Zuev, A. Ya. Lopatin, A. N. Nechai, A. E. Pestov, A. A. Perekalov, R. S. Pleshkov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salaschenko, R. M. Smertin, N. N. Tsybin, N. I. Chkhalo, “Measurements of the Absolute Values of the Radiation Intensity in the Wavelength Range of 6.6–32 nm of Stainless Steel Targets with Pulsed Laser Excitation”, Tech. Phys., 69:4 (2024), 870  crossref
    12. S. V. Kuzin, S. A. Bogachev, N. F. Erkhova, A. A. Pertsov, I. P. Loboda, A. A. Reva, A. A. Kholodilov, A. S. Ulyanov, A. S. Kirichenko, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, M. N. Toropov, N. N. Tsybin, N.I. Chkhalo, V. A. Kryukovskiy, V. N. Gorev, A. A. Doroshkin, A. M. Zadorozhniy, V. Yu. Prokop'ev, “Solar VUV Telescope for Nanosatellites”, Tech. Phys., 69:3 (2024), 595  crossref
    13. V. N. Polkovnikov, N. I. Chkhalo, S. A. Garakhin, N. N. Salashchenko, S. Yu. Zuev, “Al/Zr-based multilayer mirrors with record-breaking reflectivity”, Opt. Lett., 49:16 (2024), 4577  crossref
    14. S. A. Garakhin, A. Yu. Lopatin, A. N. Nechay, A. A. Perekalov, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, N. I. Chkhalo, “Dispersion Elements for X-ray Mirror Spectrometer on a Range of 7–30 nm”, Tech. Phys., 69:6 (2024), 1568  crossref
    15. S.S. Sakhonenkov, A.V. Bugaev, R.A. Shaposhnikov, V.N. Polkovnikov, E.O. Filatova, “Chemical interactions at interfaces in nanoscale Mo/B4C multilayered structures”, Surfaces and Interfaces, 55 (2024), 105467  crossref
    16. G. D. Antysheva, N. Kumar, R. S. Pleshkov, P. A. Yunin, V. N. Polkovnikov, N. I. Chkhalo, “Study of Reflectivity and Microstructure of Mo/Be Multilayer Mirrors”, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2023, № 12, 3  crossref
    17. E.O. Filatova, S.S. Sakhonenkov, A.V. Solomonov, R.M. Smertin, V.N. Polkovnikov, “Refined thermal stability of Cr/Sc multilayers with Si(Be) barrier layers”, Applied Surface Science, 611 (2023), 155743  crossref
    18. R. M. Smertin, M. M. Barysheva, S. A. Garakhin, M. V. Zorina, S. Yu. Zuev, V. N. Polkovnikov, N. I. Chkhalo, D. B. Radishchev, “Study of the X-Ray Optical and Mechanical Characteristics of C/Si and B<sub>4</sub>C/Si Multilayer Mirrors”, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2023, № 12, 39  crossref
    19. N. I. Chkhalo, N. N. Salashchenko, “Current State and Prospects for the Development of X-Ray Lithography”, J. Surf. Investig., 17:1 (2023), 307  crossref
    20. G. D. Antysheva, N. Kumar, R. S. Pleshkov, P. A. Yunin, V. N. Polkovnikov, N. I. Chkhalo, “Study of the Reflectivity and Microstructure of Mo/Be Multilayer Mirrors”, J. Surf. Investig., 17:6 (2023), 1319  crossref
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи физических наук Physics-Uspekhi
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:450
    PDF полного текста:47
    Список литературы:48
    Первая страница:23
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025