Аннотация:
Даётся обзор современного состояния области физики и технологии многослойных бериллийсодержащих зеркал, предназначенных для проекционной литографии и изучения короны Солнца в вакуумном ультрафиолетовом (ВУФ) диапазоне. Описывается методика изготовления и изучения бериллийсодержащих многослойных зеркал. Приводятся результаты последних исследований внутреннего строения и коэффициентов отражения в ВУФ-диапазоне многослойных зеркал Mo/Be, Mo/Si, Be/Al и Be/Mg. Объясняется влияние Si- и Be-прослоек на коэффициенты отражения. Обсуждаются направления дальнейших исследований по бериллийсодержащим зеркалам.
Работа выполнена в рамках государственного задания ИФМ РАН (тема 0035-2014-0204) при поддержке Российским фондом фундаментальных исследований (гранты 19-07-00173, 19-02-00081, 18-02-00173, 18-02-00588, 17-52-150006, 18-42-520007, 18-32-00671, 18-32-00173).
Поступила:18 июля 2019 г. Одобрена в печать: 22 мая 2019 г.
Образец цитирования:
В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, “Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия”, УФН, 190:1 (2020), 92–106; Phys. Usp., 63:1 (2020), 83–95