Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js
Успехи физических наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


УФН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи физических наук, 2020, том 190, номер 1, страницы 74–91
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038601 (Mi ufn6618) 		 
Эта публикация цитируется в 20 научных статьях (всего в 20 статьях)

КОНФЕРЕНЦИИ И СИМПОЗИУМЫ

Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения

Н. И. Чхало, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
PDF полного текста (1834 kB) Список цитирования (20)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038601
Аннотация: Прогресс в технологии изготовления многослойных интерференционных зеркал нормального падения позволяет распространить традиционные для оптики методы микроскопии, астрономии и литографии в вакуумный ультрафиолетовый (ВУФ) диапазон (длины волн 10–200 нм) и длинноволновую часть мягкого рентгеновского (МР) диапазона (длины волн 2–10 нм).Благодаря короткой волне и особенностям её взаимодействия с веществом излучение этих диапазонов предоставляет уникальные возможности для нанофизики, нанотехнологии и нанодиагностики вещества. Для использования преимущества короткой волны в полном объёме необходима оптика дифракционного качества, точность которой должна быть как минимум на два порядка выше точности традиционной оптики. Даётся анализ реальных возможностей традиционных методов изготовления и изучения прецизионных оптических элементов, сообщается о развиваемых в Институте физики микроструктур РАН методах изготовления и характеризации оптики дифракционного качества для ВУФ- и МР-диапазонов. Приводятся примеры применения такой оптики для задач внеземной астрономии, рентгеновской микроскопии и литографии.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российская академия наук - Федеральное агентство научных организаций 0035-2014-0204
Российский фонд фундаментальных исследований 19-07-00173
19-02-00081
18-02-00173
18-02-00588
18-42-520007
18-32-00671
18-32-00173
Работа выполнена в рамках государственного задания ИФМ РАН (тема No. 0035-2014-0204) при поддержке Российским фондом фундаментальных исследований (гранты 19-07-00173, 19-02-00081, 18-02-00173, 18-02-00588, 18-42-520007, 18-32-00671, 18-32-00173).
Поступила: 4 июля 2019 г.
Одобрена в печать: 22 мая 2019 г.
Англоязычная версия:
Physics–Uspekhi, 2020, Volume 63, Issue 1, Pages 67–82
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNe.2019.05.038601
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 06.30.−k
Образец цитирования: Н. И. Чхало, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, “Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения”, УФН, 190:1 (2020), 74–91; Phys. Usp., 63:1 (2020), 67–82
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ChkMalPes20}
\by Н.~И.~Чхало, И.~В.~Малышев, А.~Е.~Пестов, В.~Н.~Полковников, Н.~Н.~Салащенко, М.~Н.~Торопов
\paper Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения
\jour УФН
\yr 2020
\vol 190
\issue 1
\pages 74--91
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ufn6618}
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038601}
\adsnasa{https://adsabs.harvard.edu/cgi-bin/bib_query?2020PhyU...63...67C}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=43271673}
\transl
\jour Phys. Usp.
\yr 2020
\vol 63
\issue 1
\pages 67--82
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNe.2019.05.038601}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=000537855600006}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85085103717}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn6618
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v190/i1/p74
    КОНФЕРЕНЦИИ И СИМПОЗИУМЫ
    Эта публикация цитируется в следующих 20 статьяx:
    1. Alexey E. Pestov, Aleksei K. Chernyshev, Mikhail S. Mikhailenko, Maria V. Zorina, Egor I. Glushkov, Egor V. Petrakov, Ilya V. Malyshev, Nikolay I. Chkhalo, Dmitry G. Reunov, “Technique for forming substrates for grazing incidence X-ray mirrors with cylindrical surface profiles”, Appl. Opt., 64:4 (2025), 837  crossref
    2. S. A. Golyshev, E. P. Kazakov, I. I. Kireev, D. G. Reunov, I. V. Malyshev, “Soft X-ray Microscopy in Cell Biology: Current Status, Contributions and Prospects”, Acta Naturae, 15:4 (2024), 32  crossref
    3. N. I. Chkhalo, A. A. Akhsakhalyan, M. V. Zorina, M. N. Toropov, Yu. M. Tokunov, “Method for Obtaining Atomically Smooth Substrates from Single-Crystal Silicon by Mechanical Lapping”, Tech. Phys., 69:4 (2024), 812  crossref
    4. M. N. Toropov, A. A. Akhsakhalyan, I. V. Malyshev, M. S. Mikhaylenko, A. E. Pestov, N. N. Salaschenko, A. K. Chernyshov, N. I. Chkhalo, “Wavefront Lens Corrector for Studying Flat Surfaces”, Tech. Phys., 69:3 (2024), 730  crossref
    5. Alexey E. Pestov, Aleksei Ya. Lopatin, Petr V. Volkov, Maria V. Zorina, Andrei Yu. Lukyanov, Ilya V. Malyshev, Mikhail S. Mikhailenko, Mikhail N. Toropov, Daniil A. Semikov, Aleksei K. Chernyshev, Nikolay I. Chkhalo, Pavel A. Yunin, Egor I. Glushkov, Sergey K. Gordeev, Svetlana B. Korchagina, “The diamond–silicon carbide composite Skeleton® as a promising material for substrates of intense X-ray beam optics”, J Synchrotron Rad, 31:5 (2024), 1179  crossref
    6. N. I. Chkhalo, “New Concept for the Development of High-Performance X-ray Lithography”, Russ Microelectron, 53:5 (2024), 397  crossref
    7. D. G. Reunov, A. D. Akhsakhalyan, E. I. Glushkov, I. G. Zabrodin, I. V. Malyshev, M. S. Mikhailenko, E. V. Petrakov, A. K. Chernyshev, N. I. Chkhalo, “Stand for Certification of X-ray Optical Elements and Systems for Synchrotron Applications”, J. Surf. Investig., 18:S1 (2024), S38  crossref
    8. N. I. Chkhalo, N. N. Salashchenko, “Current state and prospects for the development of X-ray lithography”, J. Surf. Investig., 17:1 (2023), 307  crossref
    9. S. Kuzin, S. Bogachev, A. Pertsov, I. Loboda, V. Chervinsky, N. Chkhalo, A. Lopatin, I. Malyshev, A. Pestov, R. Pleshkov, V. Polkovnikov, M. Toropov, N. Tsybin, S. Zuev, “EUV telescope for a Cubesat nanosatellite”, Appl. Opt., 62:31 (2023), 8462  crossref
    10. И. В. Малышев, В. А. Чернов, Ю. В. Хомяков, Я. В. Ракшун, Н. И. Чхало, М. Н. Торопов, Д. Г. Реунов, В. Н. Полковников, А. Е. Пестов, И. А. Щелоков, “Проект сканирующего и проекционного микроскопов для станции “Наноскопия” для биологических исследований в “окне прозрачности воды””, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2023, № 5, 3  crossref; I. V. Malyshev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, D. G. Reunov, M. N. Toropov, N. I. Chkhalo, Ya. V. Rakshun, Yu. V. Khomyakov, V. A. Chernov, I. A. Shchelokov, “On the project of scanning and projection microscopes for the nanoscope station for biological research in the water window”, J. Surf. Investig., 17:3 (2023), 531  crossref
    11. I. V. Malyshev, D. G. Reunov, N. I. Chkhalo, M. N. Toropov, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Tsybin, A. Ya. Lopatin, A. K. Chernyshev, M. S. Mikhailenko, R. M. Smertin, R. S. Pleshkov, O. M. Shirokova, “High-aperture EUV microscope using multilayer mirrors and a 3D reconstruction algorithm based on z-tomography”, Opt. Express, 30:26 (2022), 47567  crossref
    12. M. S. Mikhailenko, A. E. Pestov, N. I. Chkhalo, M. V. Zorina, A. K. Chernyshev, N. N. Salashchenko, I. I. Kuznetsov, “Influence of ion-beam etching by Ar ions with an energy of 200–1000  eV on the roughness and sputtering yield of a single-crystal silicon surface”, Appl. Opt., 61:10 (2022), 2825  crossref
    13. V. V. Lider, “Grazing-incidence focusing optics for X-ray telescopes (review)”, Instrum. Exp. Tech., 65:2 (2022), 191  crossref
    14. M. Toropov, N. Chkhalo, I. Malyshev, N. Salashchenko, “High-aperture low-coherence interferometer with a diffraction reference wave”, Opt. Lett., 47:14 (2022), 3459  crossref
    15. A. A. Akhsakhalyan, N. I. Chkhalo, N. Kumar, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov, B. A. Ulasevich, S. V. Kuzin, “Compact high-aperture interferometer with a diffractive reference wave for high-precision referenceless aberration measurements of optical elements and systems”, Precis. Eng.-J. Int. Soc. Precis. Eng. Nanotechnol., 72 (2021), 330–339  crossref  isi
    16. V. N. Polkovnikov, R. A. Shaposhnikov, N. I. Chkhalo, N. N. Salashchenko, N. A. Djuzhev, F. A. Pudonin, G. D. Demin, “Y-based multilayer mirrors for the spectral range of 8-12 nm”, Bull. Lebedev Phys. Inst., 48:12 (2021), 406–410  crossref  isi
    17. A. Chernyshev, N. Chkhalo, I. Malyshev, M. Mikhailenko, A. Pestov, R. Pleshkov, R. Smertin, M. Svechnikov, M. Toropov, “Matrix based algorithm for ion-beam figuring of optical elements”, Precis. Eng.-J. Int. Soc. Precis. Eng. Nanotechnol., 69 (2021), 29–35  crossref  isi
    18. A. N. Nechay, A. A. Perekalov, N. I. Chkhalo, N. N. Salashchenko, M. A. Korepanov, M. R. Koroleva, “Emission properties of targets based on shock waves excited by pulsed laser radiation”, Opt. Laser Technol., 142 (2021), 107250  crossref  isi
    19. Toropov M.N., Akhsakhalyan A.A., Zorina M.V., Salashchenko N.N., Chkhalo N.I., Tokunov Yu.M., “Obtaining of Smooth High-Precision Surfaces By the Mechanical Lapping Method”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1873–1879  crossref  isi  scopus
    20. N. I. Chkhalo, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, D. G. Reunov, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov, V. A. Chernov, Ia. V. Rakshun, K. V. Zolotarev, I. A. Shchelokov, SYNCHROTRON AND FREE ELECTRON LASER RADIATION: Generation and Application (SFR-2020), 2299, SYNCHROTRON AND FREE ELECTRON LASER RADIATION: Generation and Application (SFR-2020), 2020, 060005  crossref
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи физических наук Physics-Uspekhi
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:258
    PDF полного текста:46
    Список литературы:21
    Первая страница:13
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025