Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js
Успехи физических наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


УФН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи физических наук, 2007, том 177, номер 7, страницы 777–780
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.0177.200707h.0777 (Mi ufn488) 		 
Эта публикация цитируется в 27 научных статьях (всего в 27 статьях)

КОНФЕРЕНЦИИ И СИМПОЗИУМЫ

Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии

К. Н. Кошелевa, В. Е. Банинb, Н. Н. Салащенкоc

a Институт спектроскопии РАН
b ASML, Veldhoven, Нидерланды
c Институт физики микроструктур РАН
PDF полного текста (818 kB) Список цитирования (27)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.0177.200707h.0777
Англоязычная версия:
Physics–Uspekhi, 2007, Volume 50, Issue 7, Pages 741–744
DOI: https://doi.org/10.1070/PU2007v050n07ABEH006321
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 42.72.-g, 42.82.Cr
Образец цитирования: К. Н. Кошелев, В. Е. Банин, Н. Н. Салащенко, “Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии”, УФН, 177:7 (2007), 777–780; Phys. Usp., 50:7 (2007), 741–744
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KosBanSal07}
\by К.~Н.~Кошелев, В.~Е.~Банин, Н.~Н.~Салащенко
\paper Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии
\jour УФН
\yr 2007
\vol 177
\issue 7
\pages 777--780
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ufn488}
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNr.0177.200707h.0777}
\adsnasa{https://adsabs.harvard.edu/cgi-bin/bib_query?2007PhyU...50..741K}
\transl
\jour Phys. Usp.
\yr 2007
\vol 50
\issue 7
\pages 741--744
\crossref{https://doi.org/10.1070/PU2007v050n07ABEH006321}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-35948961904}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn488
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v177/i7/p777
    КОНФЕРЕНЦИИ И СИМПОЗИУМЫ
    Эта публикация цитируется в следующих 27 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи физических наук Physics-Uspekhi
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:508
    PDF полного текста:208
    Список литературы:55
    Первая страница:1
     
      Обратная связь:
    math-net2025_03@mi-ras.ru     		 Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025