Аннотация:
Работа посвящена фундаментальным проблемам изготовления и тестирования, а также применениям в диапазоне длин волн 2 – 60 нм оптики, обеспечивающей дифракционное качество изображений (пространственное разрешение единицы/десятки нанометров) и востребованной для проекционной литографии, рентгеновской микроскопии, астрофизики и для фундаментальных исследований в области взаимодействия вещества (вакуума) со сверхсильными (1020−1023 Вт см−2) электромагнитными полями. Сообщается о состоянии этих исследований в мире и о последних разработках в этой области, проводимых в Институте физики микроструктур (ИФМ) РАН.
Поступила:27 июня 2011 г. Одобрена в печать: 17 августа 2011 г.
Образец цитирования:
М. М. Барышева, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало, “Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов”, УФН, 182:7 (2012), 727–747; Phys. Usp., 55:7 (2012), 681–699