Аннотация:
Рассмотрены физические основы взаимодействия ионов с веществом в твёрдой фазе, особое внимание уделено образованию продуктов взаимодействия ионов с атомами исследуемых веществ. Описаны процессы модификации высокоомных (резистивных) материалов и их использование в технологии малоразмерных 3D структур. Изложены современные тенденции развития и проблемы усовершенствования ядерного сканирующего микрозонда. Описано применение медленных позитронов для диагностики материалов и рассмотрена позитронная микроскопия и микрозондирование. Раскрыты возможности ближнеполевой сверхвысокочастотной (СВЧ) микроскопии для диагностики сверхпроводящей керамики и микроволновой микроскопии в применении к нанотехнологиям. В качестве примеров рассмотрено использование микро- и нанозондов для анализа нанообьектов, например клеток зелёных водорослей с пространственным расположением микроэлементов, а также при разработке топологии интегральных микросхем в наноэлектронике и другие применения. Показана роль железа в патогенезе болезни Паркинсона, которая является предметом исследований в нейрохимии.
Поступила:8 февраля 2011 г. Доработана: 14 апреля 2011 г. Одобрена в печать: 28 апреля 2011 г.
Образец цитирования:
А. Д. Погребняк, А. Г. Пономарев, А. П. Шпак, Ю. А. Куницкий, “Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов”, УФН, 182:3 (2012), 287–321; Phys. Usp., 55:3 (2012), 270–300