Аннотация:
Изложен современный взгляд на природу процесса селективного удаления атомов (СУА) — управляемого преобразования свойств и состава многоатомных веществ под действием ионного облучения. Рассмотрены основные эффекты, сопровождающие СУА, и возможные механизмы, за счет которых этот процесс может реализоваться. Показана перспективность использования метода СУ А для создания наноразмерных функциональных элементов.
Поступила:16 июля 2008 г. Доработана: 7 октября 2008 г.
Образец цитирования:
Б. А. Гурович, К. Е. Приходько, “Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов”, УФН, 179:2 (2009), 179–195; Phys. Usp., 52:2 (2009), 165–178
Kuldeep Rawat, Anmol Sharma, Ranjeet Kumar Brajpuriya, V.Raghavendra Reddy, Andrei Gloskovskii, Vishakha Kaushik, Ajay Gupta, Sachin Pathak, “Enhanced perpendicular magnetic anisotropy through thermal phase transformation in Co/Pd/Ta multilayers”, Applied Surface Science, 2025, 162952
K. E. Prikhodko, M. M. Dement'eva, “Creation of Functional Nanostructures under Ion Irradiation”, Tech. Phys., 69:4 (2024), 1010
Cara-Lena Nies, Michael Nolan, “Incorporation of tungsten or cobalt into TaN barrier layers controls morphology of deposited copper”, J. Phys. Mater., 6:3 (2023), 035008
Gurovich B.A., Goncharov V B., Prikhod'ko K.E., Kutuzov V L., Stolyarov V L., Malieva E.M., “Creation of Thin Films of Nbn At Room Temperature of the Substrate”, Phys. Solid State, 63:9 (2021), 1366–1368
Gurovich B.A., Prikhod'ko K.E., Kutuzov L.V., Goncharov B.V., “Control of Superconducting Transitions in Nanowires Using Galvanically Uncoupled Gates For Designing Superconductor-Based Electronic Devices”, Phys. Solid State, 62:9 (2020), 1585–1591
B A Gurovich, B V Goncharov, M M Dementyeva, K E Prikhodko, L V Kutuzov, D A Komarov, A G Domantovsky, “Integrated cryogenic resistors formed from NbN thin film under ion beam irradiation”, IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng., 699:1 (2019), 012016
Gurovich B.A., Prikhodko K.E., Komarov D.A., Dement'eva M.M., Kutuzov L.V., “The Use of Ion Irradiation to Control the Thickness of Thin Superconducting Films”, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B-Beam Interact. Mater. Atoms, 435 (2018), 224–227
Dementyeva M.M., Prikhodko K.E., Gurovich B.A., Bukina Z.V., Komarov D.A., Kutuzov L.V., “Phase Transitions in Copper Oxide Thin Films Under Proton Irradiation”, Scanning Probe Microscopy 2017 (Spm-2017), IOP Conference Series-Materials Science and Engineering, 256, IOP Publishing Ltd, 2017, UNSP 012020
K Prikhodko, B Gurovich, M Dement'eva, “Study of phase transitions in NbN ultrathin films under composite ion beam irradiation”, IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng., 130 (2016), 012046
K.E. Prikhodko, “Ion beam radiation technique to control the atomic composition and properties of thin film materials”, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 2015
B. A. Gurovich, K. E. Prihod’ko, M. A. Tarkhov, E. A. Kuleshova, D. A. Komarov, “The use of ion irradiation for converting superconducting thin-film NbN into niobium oxide Nb2O5”, Nanotechnol Russia, 10:7-8 (2015), 530
B. A. Gurovich, M. A. Tarkhov, K. E. Prikhod’ko, E. A. Kuleshova, D. A. Komarov, “Controlled modification of superconducting properties of NbN ultrathin films under composite ion beam irradiation”, Nanotechnol Russia, 9:7-8 (2014), 386
B.A. Gurovich, K.E. Prikhodko, E.A. Kuleshova, D.A. Komarov, “Controlled oxidation of mono-Si and Si3N4 under irradiation of composite ion beams at room temperature”, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 2013
B. A. Gurovich, K. E. Prikhod’ko, E. A. Kuleshova, K. I. Maslakov, D. A. Komarov, “Use of radiation effects for a controlled change in the chemical composition and properties of materials by intentional addition or substitution of atoms of a certain kind”, J. Exp. Theor. Phys, 116:6 (2013), 916
B. A. Gurovich, K. E. Prikhod’ko, A. N. Taldenkov, A. Yu. Yakubovskii, K. I. Maslakov, D. A. Komarov, L. V. Kutuzov, G. E. Fedorov, “Development of ion-beam technique for manufacturing silicon nanowires”, Nanotechnol Russia, 7:1-2 (2012), 93
Богомолов Д.Б., Городецкий А.Е., Алимов В.Х., “Структурно-фазовые превращения при ионной имплантации кислорода в титан”, Поверхность. рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2012, № 7, 31–31; D. B. Bogomolov, A. E. Gorodestkii, V. Kh. Alimov, “Structure and phase transformations caused by oxygen ion implantation into titanium”, J. Synch. Investig, 6:4 (2012), 578
Гурович Б.А., Приходько К.Е., Талденков А.Н., Домантовский А.Г., Комаров Д.А., Кутузов Л.В., “Создание металлических нанопроводов методом селективного удаления атомов и исследование их свойств”, Российские нанотехнологии, 7 (2012), 41–45; B. A. Gurovich, K. E. Prikhod’ko, A. N. Taldenkov, A. G. Domantovskii, D. A. Komarov, L. V. Kutuzov, “Formation of metal nanowires using techniques of the selective removal of atoms and investigation into the electric properties of metal nanowires”, Nanotechnol Russia, 7:1-2 (2012), 28
A. A. Blinkin, V. V. Derevyanko, T. V. Sukhareva, V. L. Uvarov, V. A. Finkel, Yu. N. Shakhov, I. N. Shlyakhov, “Radiation damages under irradiation of the BCS superconductor MgB2 by high-energy electrons”, Phys. Solid State, 53:2 (2011), 245
Gurovich B.A., Prikhod'ko K.E., Taldenkov A.N., Chumakov N.K., Fedorov G.E., Yakubovsky A.Yu., Bogdanov A.L., “Fabrication of metal nanowires by ion-beam irradiation of oxides through high aspect ratio resist masks”, J. Vac. Sci. Technol. B, 29:2 (2011), 021013
Гурович Б.А., Приходько К.Е., Кутузов Л.В., Ротанов Е.А., Бандура А.П., “Определение глубины восстановления тонких пленок оксида вольфрама под действием протонного облучения”, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2011, № 1, 35–38; B. A. Gurovich, K. E. Prikhod’ko, L. V. Kutuzov, E. A. Rotanov, A. P. Bandura, “Determination of the reduction depth of tungsten oxide thin films under the effect of proton irradiation”, J. Synch. Investig, 5:1 (2011), 30