Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js
Успехи химии
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Усп. хим.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи химии, 2014, том 83, выпуск 8, страницы 758–782
DOI: https://doi.org/10.1070/RC2014v083n08ABEH004402 (Mi rcr711) 		 
Эта публикация цитируется в 9 научных статьях (всего в 9 статьях)

Химическое осаждение рутенийсодержащих тонких пленок из газовой фазы

В. Ю. Васильевab, Н. Б. Морозоваc, И. К. Игуменовc

a Новосибирский государственный технический университет
b Общество с ограниченной ответственностью "СибИС", Новосибирск, Россия
c Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН, г. Новосибирск
PDF полного текста Полный текст английской версии Список цитирования (9)
DOI: https://doi.org/10.1070/RC2014v083n08ABEH004402
Аннотация: Рассмотрены химические и материаловедческие аспекты формирования тонких рутенийсодержащих пленок методами химического осаждения из газовой фазы, которые применяют в современных прецизионных технологиях. Проанализированы химические подходы к синтезу основных исходных соединений (предшественников), используемых в этих методах, процессы роста слоев и данные об основных физико-химических и электрических свойствах тонких рутенийсодержащих пленок.
Библиография — 120 ссылок.
Поступила в редакцию: 24.04.2013
Англоязычная версия:
Russian Chemical Reviews, 2014, Volume 83, Issue 8, Pages 758–782
DOI: https://doi.org/10.1070/RC2014v083n08ABEH004402
Реферативные базы данных:
Образец цитирования: В. Ю. Васильев, Н. Б. Морозова, И. К. Игуменов, “Химическое осаждение рутенийсодержащих тонких пленок из газовой фазы”, Усп. хим., 83:8 (2014), 758–782; Russian Chem. Reviews, 83:8 (2014), 758–782
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{VasMorIgu14}
\by В.~Ю.~Васильев, Н.~Б.~Морозова, И.~К.~Игуменов
\paper Химическое осаждение рутенийсодержащих тонких пленок из газовой фазы
\jour Усп. хим.
\yr 2014
\vol 83
\issue 8
\pages 758--782
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/rcr711}
\crossref{https://doi.org/10.1070/RC2014v083n08ABEH004402}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=21818616}
\transl
\jour Russian Chem. Reviews
\yr 2014
\vol 83
\issue 8
\pages 758--782
\crossref{https://doi.org/10.1070/RC2014v083n08ABEH004402}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=000343310000004}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=23987691}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-84906905523}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/rcr711
  • https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v83/i8/p758
    • Эта публикация цитируется в следующих 9 статьяx:
    1. Akhilesh Kumar Mandal, Marleen H. van der Veen, Negin Rahnemai Haghighi, Max Robson, Niels Claessens, Johan Meersschaut, Nicolas Jourdan, Zsolt Tokei, Annelies Delabie, Adv Materials Technologies, 9:5 (2024)  crossref
    2. В.Ю. Васильев, Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника, 2020, № 3, 26  crossref
    3. T. V. Basova, A. Hassan, N. B. Morozova, Coord. Chem. Rev., 380 (2019), 58–82  crossref  isi  scopus
    4. V. Yu. Vasilyev, Russ Microelectron, 48:4 (2019), 208  crossref
    5. X. Qin, F. Zaera, J. Phys. Chem. C, 122:25, SI (2018), 13481–13491  crossref  isi  scopus
    6. N. S. Nikolaeva, R. G. Parkhomenko, D. D. Klyamer, A. D. Shushanyan, I. P. Asanov, N. B. Morozova, T. V. Basova, Int. J. Hydrog. Energy, 42:47 (2017), 28640–28646  crossref  isi  scopus
    7. V. Yu. Vasilyev, J. Struct. Chem., 58:8 (2017), 1538–1545  crossref  isi  scopus
    8. Sidelnikov V.N. Nikolaeva O.A. Platonov I.A. Parmon V.N., Russ. Chem. Rev., 85:10 (2016), 1033–1055  mathnet  crossref  isi  scopus
    9. V. Yu. Vasilyev, N. B. Morozova, T. V. Basova, I. K. Igumenov, A. Hassan, RSC Adv, 5:41 (2015), 32034  crossref  isi  elib  scopus
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи химии Russian Chemical Reviews
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:179
     
      Обратная связь:
    math-net2025_03@mi-ras.ru     		 Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025