|
|
Квантовая электроника, 2024, том 54, номер 9, страницы 537–544
(Mi qe18469)
|
 |
|
 |
К 90-летию Физического института им. П.Н.Лебедева РАН
Рефлектометрия в мягком рентгеновском диапазоне с лазерно-плазменным источником излучения
Е. Н. Рагозин
Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, Россия, 119991 Москва
Аннотация:
Обсуждаются устройство и применение рефлектометров с дифракционной решеткой скользящего падения на область длин волн короче 300 Å. Основное внимание уделено рефлектометрам с лазерно-плазменным источником излучения, возбуждаемым импульсно-периодическим лазером с "умеренными" выходными параметрами (энергия в импульсе 0.1 – 1 Дж, длительность импульса 10 нс и менее). Приведенные сведения могут быть полезны при создании метрологических установок в мягком рентгеновском диапазоне спектра, как лабораторных, так и включенных в серийное производство интегральных микросхем методом проекционной рентгенолитографии.
Ключевые слова:
проекционная рентгенолитография, рефлектометр, лазерная плазма, решетка Роуланда, VLS-решетка, схема Хеттрика – Андервуда, разрешающая способность, делитель пучка, многослойное зеркало.
Поступила в редакцию: 29.08.2024
Исправленный вариант: 27.09.2024
Образец цитирования:
Е. Н. Рагозин, “Рефлектометрия в мягком рентгеновском диапазоне с лазерно-плазменным источником излучения”, Квантовая электроника, 54:9 (2024), 537–544 [Bull. Lebedev Physics Institute, 51:suppl. 12 (2024), S983–S993]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe18469 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v54/i9/p537
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 25 | | Список литературы: | 6 |
|
Обратная связь: