Аннотация:
Экспериментально наблюдалось более чем десятикратное увеличение интенсивности EUV-излучения из лазерно-плазменного источника при освещении Xe газоструйной мишени широким лазерным лучом, охватывающим всю ее наиболее плотную часть, по сравнению с интенсивностью излучения при традиционной геометрии, когда луч остро сфокусирован на ось струи. В качестве объяснения предполагается, что в этом случае почти вся плотная часть струи под действием лазерного облучения нагревается, подвергается ионизации и становится прозрачной для квантов исследуемого излучения. Толщина же поглощающей периферической оболочки лазерной искры соответственно уменьшается, что приводит к увеличению интенсивности доходящего до наблюдателя излучения.
Образец цитирования:
П. С. Буторин, С. Г. Калмыков, М. Э. Сасин, “Новый метод подавления периферического поглощения в лазерно-плазменном источнике коротковолнового излучения с Xe газоструйной мишенью”, Письма в ЖТФ, 44:23 (2018), 111–119; Tech. Phys. Lett., 44:12 (2018), 1100–1103
\RBibitem{ButKalSas18}
\by П.~С.~Буторин, С.~Г.~Калмыков, М.~Э.~Сасин
\paper Новый метод подавления периферического поглощения в лазерно-плазменном источнике коротковолнового излучения с Xe газоструйной мишенью
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2018
\vol 44
\issue 23
\pages 111--119
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5626}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2018.23.47018.17340}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=37044659}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2018
\vol 44
\issue 12
\pages 1100--1103
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785018120209}
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5626
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v44/i23/p111
Эта публикация цитируется в следующих 6 статьяx:
Pavel S. Butorin, Serguei G. Kalmykov, “Optimization of conditions for excitation of Xe laser plasma in an extreme ultraviolet radiation source for nanolithography in order to increase its efficiency”, J. Opt. Technol., 91:5 (2024), 348
A.J. Neukirch, J. Colgan, “Atomic structure considerations for the low-temperature opacity of Xenon”, High Energy Density Physics, 46 (2023), 101034
S G Kalmykov, P S Butorin, M E Sasin, V S Zakharov, “Absorption of laser radiation in a laser-produced plasma of Xe: hydrodynamic effects and nonequilibrium ionization”, J. Phys. D: Appl. Phys., 55:10 (2022), 105203
А. В. Белашов, П. С. Буторин, Ю. М. Задиранов, С. Г. Калмыков, В. А. Максимов, М. Э. Сасин, П. Ю. Сердобинцев, “Измерение геометрических параметров мощного ИК лазерного луча в прифокальной области для применений в лазерно-плазменном источнике коротковолнового излучения”, Оптика и спектроскопия, 128:8 (2020), 1224–1228; A. V. Belashov, P. S. Butorin, Yu. M. Zadiranov, S. G. Kalmykov, V. A. Maximov, M. È. Sasin, P. Yu. Serdobintsev, “Measuring geometric parameters of a high-power infrared laser beam near the focus for applications in a laser-plasma short-wave radiation source”, Optics and Spectroscopy, 128:8 (2020), 1338–1341
P S Butorin, S G Kalmykov, V A Maximov, M E Sasin, “Further development of the Xe laser plasma 11-nm radiation source – new data on laser energy absorption and spectroscopy”, J. Phys.: Conf. Ser., 1697:1 (2020), 012237
S. G. Kalmykov, P. S. Butorin, M. E. Sasin, “Xe laser-plasma EUV radiation source with a wavelength near 11 nm—Optimization and conversion efficiency”, Journal of Applied Physics, 126:10 (2019)
Цитирование в формате AMSBIB
Обратная связь: