Аннотация:
Экспериментально исследована лазерная рекристаллизация полупроводниковых пленок на аморфных подложках. С помощью полупрозрачных масок на поверхности образца создавалось неоднородное распределение температуры определенной симметрии, которое стимулировало ориентированный рост. Этим методом удалось получить ориентированные пленки PbTe и Ge ориентации (100) и (111). Обсуждается возможный механизм образования ориентированных пленок на неориентирующих подложках.
Образец цитирования:
Ю. А. Битюрин, С. В. Гапонов, А. А. Гудков, В. Л. Миронов, “Направленная кристаллизация при лазерном отжиге пленок”, Квантовая электроника, 11:1 (1984), 181–183 [Sov J Quantum Electron, 14:1 (1984), 121–123]