Аннотация:
Экспериментально исследованы особенности абляции керамики гексагонального нитрида бора при воздействии наносекундными лазерными импульсами с длинами волн излучения 193 и 248 нм. Получены зависимости скорости удаления материала и наклона стенки кратера от плотности энергии в пятне облучения. Обнаружен режим абляции, при котором скорость удаления материала достигает 5 мкм за импульс, что не характерно для наносекундного лазерного излучения. Показано, что при относительно низких интенсивностях излучения (около 5–10 Дж/см2) угол наклона стенки формируемого кратера не превышает 20°.
Образец цитирования:
В. В. Кононенко, М. С. Комленок, М. А. Дежкина, В. М. Гололобов, В. И. Конов, “Абляция гексагонального нитрида бора при облучении УФ лазерным излучением”, Квантовая электроника, 48:11 (2018), 996–999 [Quantum Electron., 48:11 (2018), 996–999]