Аннотация:
С помощью ИК (λ ≈ 744 нм) и УФ (λ ≈ 248 нм) фемтосекундных лазерных импульсов получены квазипериодические нано- и микроструктуры на поверхности кремния. Исследована зависимость топологии структурированной поверхности от плотности энергии падающего излучения и числа импульсов. Определены пороги наноструктурирования кремния для указанных длин волн. Обнаружено явление возникновения модуляции рельефа поверхности на удвоенной пространственной частоте и предложено его качественное объяснение. Проведены сравнительный анализ и обсуждение периодов наноструктур, полученных на поверхности кремния под действием ИК и УФ фемтосекундных лазерных импульсов.
Поступила в редакцию: 30.12.2010 Исправленный вариант: 29.06.2011
Образец цитирования:
А. А. Ионин, С. И. Кудряшов, С. В. Макаров, Л. В. Селезнев, Д. В. Синицын, Е. В. Голосов, О. А. Голосова, Ю. Р. Колобов, А. Е. Лигачев, “Формирование квазипериодических нано- и микроструктур на поверхности кремния под действием ИК и УФ фемтосекундных лазерных импульсов”, Квантовая электроника, 41:9 (2011), 829–834 [Quantum Electron., 41:9 (2011), 829–834]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe14530
https://www.mathnet.ru/rus/qe/v41/i9/p829
Эта публикация цитируется в следующих 19 статьяx:
Karlash A., Dmytruk A., Dmitruk I., Berezovska N., Hrabovskyi Y., Blonskyi I., Appl. Nanosci., 12:4 (2022), 1191–1199
N. Semmar, A. Talbi, M. Mikikian, A. Stolz, A. Melhem, D. de Sousa Meneses, Applied Surface Science, 509 (2020), 144820
А. М. Скворцов, В. П. Вейко, К. Т. Хуинь, Д. С. Поляков, А. М. Тампер, Квантовая электроника, 47:6 (2017), 503–508; Quantum Electron., 47:6 (2017), 503–508
P. A. Danilov, A. A. Ionin, S. I. Kudryashov, S. V. Makarov, A. A. Rudenko, J. Exp. Theor. Phys, 120:6 (2015), 946
А. А. Ионин, С. И. Кудряшов, А. Е. Лигачев, С. В. Макаров, Н. Н. Мельник, А. А. Руденко, Л. В. Селезнев, Д. В. Синицын, Р. А. Хмельницкий, Квантовая электроника, 43:4 (2013), 304–307; Quantum Electron., 43:4 (2013), 304–307