Аннотация:
Представлены результаты оптического и газодинамического исследования плазмы СВЧ-разряда в условиях газоструйного синтеза алмаза и проведен их анализ с целью определения температуры и состава смеси в разрядной камере для дальнейшей оптимизации метода. Исследовано влияние расхода подаваемой газовой смеси на макропараметры потока смеси газа на выходе из разрядной камеры. Измеренные в разрядной камере значения давления и температуры использованы для численного анализа состава смеси в зависимости от расхода подаваемого газа. Показано, что состав смеси на выходе из разрядной камеры коррелирует со скоростью синтеза алмазных структур.
Работа выполнена в рамках государственного задания № 121031800218-5 и при финансовой поддержке
Российского фонда фундаментальных исследований (код проекта 18-29-19069).
Поступила в редакцию: 01.06.2021 Исправленный вариант: 14.07.2021 Принята в печать: 26.07.2021
Образец цитирования:
А. А. Емельянов, В. А. Пинаев, М. Ю. Плотников, А. К. Ребров, Н. И. Тимошенко, И. Б. Юдин, “Оптические и газодинамические измерения в потоке плазмы СВЧ-разряда в условиях газоструйного синтеза алмаза”, Прикл. мех. техн. физ., 63:3 (2022), 54–61; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 63:3 (2022), 418–424
\RBibitem{EmePinPlo22}
\by А.~А.~Емельянов, В.~А.~Пинаев, М.~Ю.~Плотников, А.~К.~Ребров, Н.~И.~Тимошенко, И.~Б.~Юдин
\paper Оптические и газодинамические измерения в потоке плазмы СВЧ-разряда в условиях газоструйного синтеза алмаза
\jour Прикл. мех. техн. физ.
\yr 2022
\vol 63
\issue 3
\pages 54--61
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pmtf51}
\crossref{https://doi.org/10.15372/PMTF20220306}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=48659596}
\transl
\jour J. Appl. Mech. Tech. Phys.
\yr 2022
\vol 63
\issue 3
\pages 418--424
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0021894422030063}
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pmtf51
https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v63/i3/p54
Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
Sengen Hu, Liangqiang Zhou, “Orbits and chaos of a two‐fluid magnetized plasma oscillator subjected to parametric excitation with square delayed feedback”, Z Angew Math Mech, 104:2 (2024)
В. А. Андрющенко, Е. В. Бойко, С. З. Сахапов, М. С. Скирда, Д. В. Смовж, “Экспериментальное и теоретическое исследование струи, формирующейся при распылении электродов в дуговом разряде”, Прикл. мех. техн. физ., 64:3 (2023), 12–19; V. A. Andryushchenko, E. V. Boiko, S. Z. Sakhapov, M. S. Skirda, D. V. Smovzh, “Experimental and theoretical study of the jet formed by means of sputtering of electrodes in an arc discharge”, J. Appl. Mech. Tech. Phys., 64:3 (2023), 371–377
А. А. Емельянов, М. Ю. Плотников, Н. И. Тимошенко, И. Б. Юдин, “Газоструйный синтез из активированной в СВЧ-разряде смеси H2 + CH4 + Ar алмазных покрытий на кремниевых подложках”, Прикл. мех. техн. физ., 64:5 (2023), 17–26; A. A. Emel'yanov, M. Yu. Plotnikov, N. I. Timoshenko, I. B. Yudin, “Gas-jet synthesis of diamond coatings on silicon substrates from an H2 + CH4 + Ar mixture activated in a microwave discharge”, J. Appl. Mech. Tech. Phys., 64:5 (2024), 748–756
Цитирование в формате AMSBIB
Обратная связь: