|
Письма в Журнал технической физики, 1987, том 13, выпуск 16, страницы 971–974
(Mi pjtf591)
|
|
|
|
Прямая субмикронная топография в растровом электронном микроскопе
А. В. Безруков, А. К. Гейм, С. В. Дубонос, В. Т. Петрашов Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР
Поступила в редакцию: 18.02.1987
Образец цитирования:
А. В. Безруков, А. К. Гейм, С. В. Дубонос, В. Т. Петрашов, “Прямая субмикронная топография в растровом электронном микроскопе”, Письма в ЖТФ, 13:16 (1987), 971–974
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf591 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v13/i16/p971
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 71 | PDF полного текста: | 30 |
|