|
Письма в Журнал технической физики, 1990, том 16, выпуск 23, страницы 4–8
(Mi pjtf3556)
|
|
|
|
Модель каналирования ионов бора
при высокоэнергетичном ионном
легировании кристаллов кремния
А. Ф. Буренков, Ф. Ф. Комаров, С. А. Федотов
Образец цитирования:
А. Ф. Буренков, Ф. Ф. Комаров, С. А. Федотов, “Модель каналирования ионов бора
при высокоэнергетичном ионном
легировании кристаллов кремния”, Письма в ЖТФ, 16:23 (1990), 4–8
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf3556 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v16/i23/p4
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 64 | PDF полного текста: | 26 |
|