|
Письма в Журнал технической физики, 1990, том 16, выпуск 22, страницы 11–17
(Mi pjtf3535)
|
|
|
|
Особенности плавления монокристаллической подложки в затравочных
окнах при формировании слоев кремния на изоляторе импульсным нагревом
С. Н. Коляденко, А. В. Двуреченский, В. Ю. Баландин, С. П. Верходанов, Л. В. Мишина, О. А. Кулясова
Образец цитирования:
С. Н. Коляденко, А. В. Двуреченский, В. Ю. Баландин, С. П. Верходанов, Л. В. Мишина, О. А. Кулясова, “Особенности плавления монокристаллической подложки в затравочных
окнах при формировании слоев кремния на изоляторе импульсным нагревом”, Письма в ЖТФ, 16:22 (1990), 11–17
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf3535 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v16/i22/p11
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 53 | PDF полного текста: | 25 |
|