Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js
Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Физика и техника полупроводников, 2016, том 50, выпуск 10, страницы 1395–1400 (Mi phts6345)  

Эта публикация цитируется в 20 научных статьях (всего в 20 статьях)

Физика полупроводниковых приборов

Изготовление терагерцового квантово-каскадного лазера с двойным металлическим волноводом на основе многослойных гетероструктур GaAs/AlGaAs

Р. А. Хабибуллинa, Н. В. Щаврукa, А. Ю. Павловa, Д. С. Пономаревa, К. Н. Томошa, Р. Р. Галиевa, П. П. Мальцевa, А. Е. Жуковbc, Г. Э. Цырлинcb, Ф. И. Зубовc, Ж. И. Алфёровbc

a Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники РАН, г. Москва
b Санкт-Петербургский научный центр РАН
c Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация: Исследованы процессы постростовой обработки многослойных гетероструктур GaAs/AlGaAs для терагерцового квантово-каскадного лазера (ККЛ), включающей в себя термокомпрессионное соединение In–Au многослойных гетероструктур с легированной подложкой $n^{+}$-GaAs, механическую шлифовку и селективное жидкостное травление подложки, сухое травление гребневых мезаполосков ККЛ через маску металлизации Ti/Au с шириной 50 и 100 мкм. Подобраны режимы реактивного ионного травления с источником индуктивно связанной плазмы в смеси газов BCl$_{3}$/Ar для получения вертикальных стенок гребневых мезаполосков ККЛ и минимального распыления маски Ti/Au.
Поступила в редакцию: 07.04.2016
Принята в печать: 12.04.2016
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2016, Volume 50, Issue 10, Pages 1377–1382
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063782616100134
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Р. А. Хабибуллин, Н. В. Щаврук, А. Ю. Павлов, Д. С. Пономарев, К. Н. Томош, Р. Р. Галиев, П. П. Мальцев, А. Е. Жуков, Г. Э. Цырлин, Ф. И. Зубов, Ж. И. Алфёров, “Изготовление терагерцового квантово-каскадного лазера с двойным металлическим волноводом на основе многослойных гетероструктур GaAs/AlGaAs”, Физика и техника полупроводников, 50:10 (2016), 1395–1400; Semiconductors, 50:10 (2016), 1377–1382
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KhaShcPav16}
\by Р.~А.~Хабибуллин, Н.~В.~Щаврук, А.~Ю.~Павлов, Д.~С.~Пономарев, К.~Н.~Томош, Р.~Р.~Галиев, П.~П.~Мальцев, А.~Е.~Жуков, Г.~Э.~Цырлин, Ф.~И.~Зубов, Ж.~И.~Алфёров
\paper Изготовление терагерцового квантово-каскадного лазера с двойным металлическим волноводом на основе многослойных гетероструктур GaAs/AlGaAs
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2016
\vol 50
\issue 10
\pages 1395--1400
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts6345}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=27369019}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2016
\vol 50
\issue 10
\pages 1377--1382
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782616100134}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts6345
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v50/i10/p1395
  • Эта публикация цитируется в следующих 20 статьяx:
    1. Ulugbek Erkaboev, Rustamjon Rakhimov, Jasurbek Mirzaev, Nozimjon Sayidov, Ulugbek Negmatov, Abdulla Mashrapov, PROBLEMS IN THE TEXTILE AND LIGHT INDUSTRY IN THE CONTEXT OF INTEGRATION OF SCIENCE AND INDUSTRY AND WAYS TO SOLVE THEM: (PTLICISIWS-2022), 2789, PROBLEMS IN THE TEXTILE AND LIGHT INDUSTRY IN THE CONTEXT OF INTEGRATION OF SCIENCE AND INDUSTRY AND WAYS TO SOLVE THEM: (PTLICISIWS-2022), 2023, 040056  crossref
    2. U. I. Erkaboev, N. A. Sayidov, U. M. Negmatov, R. G. Rakhimov, J. I. Mirzaev, D. Bazarov, “Temperature dependence of width band gap in Inxga1-Xasquantum well in presence of transverse strong magnetic field”, E3S Web of Conf., 401 (2023), 04042  crossref
    3. D. V. Ushakov, A. A. Afonenko, D. S. Ponomarev, S. S. Pushkarev, V. I. Gavrilenko, R. A. Khabibullin, “New Designs of Laser Transitions in Terahertz Quantum–Cascade Lasers”, Radiophys Quantum El, 65:5-6 (2022), 461  crossref
    4. D. V. Ushakov, A. A. Afonenko, I. A. Glinskiy, R. A. Khabibullin, “High-temperature terahertz quantum-cascade lasers: design optimization and experimental results”, Rossijskij tehnologičeskij žurnal, 10:3 (2022), 45  crossref
    5. R. A. Khabibullin, S. S. Pushkarev, R. R. Galiev, N. V. Shchavruk, I. N. Dyuzhikov, V. V. Pavlovskiy, O. Yu. Volkov, “Tuning of the Spectral Characteristics of Terahertz Quantum-Cascade Lasers”, Nanotechnol Russia, 17:S1 (2022), S35  crossref
    6. Р. А. Хабибуллин, К. В. Маремьянин, Д. С. Пономарев, Р. Р. Галиев, А. А. Зайцев, А. И. Данилов, И. С. Васильевский, А. Н. Виниченко, А. Н. Клочков, А. А. Афоненко, Д. В. Ушаков, С. В. Морозов, В. И. Гавриленко, “Квантово-каскадный лазер на 3.3 ТГц на основе активного модуля из трех квантовых ям GaAs/AlGaAs с рабочей температурой > 120 K”, Физика и техника полупроводников, 55:11 (2021), 989–994  mathnet  crossref; R. A. Khabibullin, K. V. Marem'yanin, D. S. Ponomarev, R. R. Galiev, A. A. Zaitsev, A. I. Danilov, I. S. Vasil'evskii, A. N. Vinichenko, A. N. Klochkov, A. A. Afonenko, D. V. Ushakov, S. V. Morozov, V. I. Gavrilenko, “3.3 THz quantum cascade laser based on a three GaAs/AlGaAs quantum-well active module with an operating temperature above 120 K”, Semiconductors, 56 (2022),  mathnet  crossref
    7. R. A. Khabibullin, N. V. Shchavruk, D. S. Ponomarev, D. V. Ushakov, A. A. Afonenko, O. Yu. Volkov, V. V. Pavlovskiy, K. V. Maremyanin, A. A. Dubinov, PROCEEDINGS OF INTERNATIONAL CONGRESS ON GRAPHENE, 2D MATERIALS AND APPLICATIONS (2D MATERIALS 2019), 2359, PROCEEDINGS OF INTERNATIONAL CONGRESS ON GRAPHENE, 2D MATERIALS AND APPLICATIONS (2D MATERIALS 2019), 2021, 020014  crossref
    8. А. К. Долгов, Д. В. Ушаков, А. А. Афоненко, И. Н. Дюжиков, И. А. Глинский, Д. С. Пономарев, Р. А. Хабибуллин, “Моделирование эффективности электрической накачки квантово-каскадного терагерцевого лазера при неоднородном питании током”, Квантовая электроника, 51:2 (2021), 164–168  mathnet  isi  scopus; A. K. Dolgov, D. V. Ushakov, A. A. Afonenko, I. N. Dyuzhikov, I. A. Glinskiy, D. S. Ponomarev, R. A. Khabibullin, “Simulation on the nonuniform electrical pumping efficiency of THz quantum-cascade lasers”, Quantum Electron., 51:2 (2021), 164–168  mathnet  crossref
    9. Г. Э. Цырлин, Р. Р. Резник, А. Е. Жуков, Р. А. Хабибуллин, К. В. Маремьянин, В. И. Гавриленко, С. В. Морозов, “Особенности роста наноструктур для терагерцовых квантово-каскадных лазеров и их физические свойства”, Физика и техника полупроводников, 54:9 (2020), 902–905  mathnet  crossref; G. E. Cirlin, R. R. Reznik, A. E. Zhukov, R. A. Khabibullin, K. V. Marem'yanin, V. I. Gavrilenko, S. V. Morozov, “Specific growth features of nanostructures for terahertz quantum cascade lasers and their physical properties”, Semiconductors, 54:9 (2020), 1092–1095  mathnet  crossref
    10. R.A. Khabibullin, N.V. Shchavruk, D.S. Ponomarev, D.V. Ushakov, A.A. Afonenko, K.V. Maremyanin, O.Yu. Volkov, V.V. Pavlovskiy, A.A. Dubinov, “The operation of THz quantum cascade laser in the region of negative differential resistance”, Opto-Electronics Review, 27:4 (2019), 329  crossref
    11. Rustam Khabibullin, Dmitriy Ushakov, Alexander Afonenko, Nikolay Shchavruk, Dmitriy Ponomarev, Oleg Volkov, Valeriy Pavlovskiy, Ivan Vasil'evskii, Danil Safonov, Alexander Dubinov, Vladimir F. Lukichev, Konstantin V. Rudenko, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018, 2019, 35  crossref
    12. Д. В. Ушаков, А. А. Афоненко, А. А. Дубинов, В. И. Гавриленко, О. Ю. Волков, Н. В. Щаврук, Д. С. Пономарев, Р. А. Хабибуллин, “Моделирование квантово-каскадных лазеров терагерцевого диапазона частот методом балансных уравнений на основе базиса волновых функций с уменьшенными дипольными моментами туннельно-связанных состояний”, Квантовая электроника, 49:10 (2019), 913–918  mathnet  isi  scopus; D. V. Ushakov, A. A. Afonenko, A. A. Dubinov, V. I. Gavrilenko, O. Yu. Volkov, N. V. Shchavruk, D. S. Ponomarev, R. A. Khabibullin, “Balance-equation method for simulating terahertz quantum-cascade lasers using a wave-function basis with reduced dipole moments of tunnel-coupled states”, Quantum Electron., 49:10 (2019), 913–918  mathnet  crossref
    13. Rustam Khabibullin, Dmitriy Ushakov, Alexander Afonenko, Nikolai Shchavruk, Dmitriy Ponomarev, Ivan Vasil'evskii, Danil Safonov, Alexander Dubinov, Vladimir L. Derbov, Saratov Fall Meeting 2018: Laser Physics, Photonic Technologies, and Molecular Modeling, 2019, 38  crossref
    14. R A Khabibullin, N V Shchavruk, A Yu Pavlov, A N Klochkov, I A Glinskiy, K N Tomosh, D S Ponomarev, G E Cirlin, A E Zhukov, “Design and fabrication of terahertz quantum cascade laser with double metal waveguide based on multilayer GaAs/AlGaAs heterostructures”, IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng., 475 (2019), 012020  crossref
    15. R.A. Khabibullin, N.V. Shchavruk, D.S. Ponomarev, D.V. Ushakov, A.A. Afonenko, O.Yu. Volkov, V.V. Pavlovskiy, A.A. Dubinov, A.A. Silaev, “Terahertz quantum cascade lasers with silver- and gold-based waveguides”, EPJ Web Conf., 195 (2018), 04002  crossref
    16. R.A. Khabibullin, N.V. Shchavruk, D.S. Ponomarev, D.V. Ushakov, A.A. Afonenko, O.Yu Volkov, V.V. Pavlovskiy, A.A. Dubinov, 2018 International Conference Laser Optics (ICLO), 2018, 124  crossref
    17. Р. А. Хабибуллин, Н. В. Щаврук, Д. С. Пономарев, Д. В. Ушаков, А. А. Афоненко, И. С. Васильевский, А. А. Зайцев, А. И. Данилов, О. Ю. Волков, В. В. Павловский, К. В. Маремьянин, В. И. Гавриленко, “Температурная зависимость порогового тока и выходной мощности квантово-каскадного лазера с частотой генерации 3.3 ТГц”, Физика и техника полупроводников, 52:11 (2018), 1268–1273  mathnet  crossref; R. A. Khabibullin, N. V. Shchavruk, D. S. Ponomarev, D. V. Ushakov, A. A. Afonenko, I. S. Vasil'evskii, A. A. Zaitsev, A. I. Danilov, O. Yu. Volkov, V. V. Pavlovskiy, K. V. Marem'yanin, V. I. Gavrilenko, “Temperature dependences of the threshold current and output power of a quantum-cascade laser emitting at 3.3 THz”, Semiconductors, 52:11 (2018), 1380–1385  mathnet  crossref
    18. Р. А. Хабибуллин, Н. В. Щаврук, А. Н. Клочков, И. А. Глинский, Н. В. Зенченко, Д. С. Пономарев, П. П. Мальцев, А. А. Зайцев, Ф. И. Зубов, А. Е. Жуков, Г. Э. Цырлин, Ж. И. Алфёров, “Энергетический спектр и тепловые свойства терагерцового квантово-каскадного лазера на основе резонансно-фононного дизайна”, Физика и техника полупроводников, 51:4 (2017), 540–546  mathnet  crossref; R. A. Khabibullin, N. V. Shchavruk, A. N. Klochkov, I. A. Glinskiy, N. V. Zenchenko, D. S. Ponomarev, P. P. Maltsev, A. A. Zaitsev, F. I. Zubov, A. E. Zhukov, G. E. Cirlin, Zh. I. Alferov, “Energy spectrum and thermal properties of a terahertz quantum-cascade laser based on the resonant-phonon depopulation scheme”, Semiconductors, 51:4 (2017), 514–519  mathnet  crossref
    19. А. В. Иконников, К. В. Маремьянин, С. В. Морозов, В. И. Гавриленко, А. Ю. Павлов, Н. В. Щаврук, Р. А. Хабибуллин, Р. Р. Резник, Г. Э. Цырлин, Ф. И. Зубов, А. Е. Жуков, Ж. И. Алфёров, “Генерация терагерцового излучения в многослойных квантово-каскадных гетероструктурах”, Письма в ЖТФ, 43:7 (2017), 86–94  mathnet  crossref; A. V. Ikonnikov, K. V. Marem'yanin, S. V. Morozov, V. I. Gavrilenko, A. Yu. Pavlov, N. V. Shchavruk, R. A. Khabibullin, R. R. Reznik, G. E. Cirlin, F. I. Zubov, A. E. Zhukov, Zh. I. Alferov, “Terahertz radiation generation in multilayer quantum-cascade heterostructures”, Tech. Phys. Lett., 43:4 (2017), 362–365  mathnet  crossref
    20. Rustam A. Khabibullin, Nikolay V. Shchavruk, Aleksandr Yu. Pavlov, Alexey N. Klochkov, Dmitry S. Ponomarev, Igor A. Glinskiy, Petr P. Maltsev, Alexey E. Zhukov, George E. Cirlin, Zhores I. Alferov, “Terahertz Quantum-Cascade Laser Based on the Resonant-Phonon Depopulation Scheme”, Int. J. Hi. Spe. Ele. Syst., 25:03n04 (2016), 1640022  crossref
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:109
    PDF полного текста:64
     
      Обратная связь:
    math-net2025_04@mi-ras.ru
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025