Аннотация:
Исследованы процессы постростовой обработки многослойных гетероструктур GaAs/AlGaAs для терагерцового квантово-каскадного лазера (ККЛ), включающей в себя термокомпрессионное соединение In–Au многослойных гетероструктур с легированной подложкой $n^{+}$-GaAs, механическую шлифовку и селективное жидкостное травление подложки, сухое травление гребневых мезаполосков ККЛ через маску металлизации Ti/Au с шириной 50 и 100 мкм. Подобраны режимы реактивного ионного травления с источником индуктивно связанной плазмы в смеси газов BCl$_{3}$/Ar для получения вертикальных стенок гребневых мезаполосков ККЛ и минимального распыления маски Ti/Au.
Поступила в редакцию: 07.04.2016 Принята в печать: 12.04.2016
Образец цитирования:
Р. А. Хабибуллин, Н. В. Щаврук, А. Ю. Павлов, Д. С. Пономарев, К. Н. Томош, Р. Р. Галиев, П. П. Мальцев, А. Е. Жуков, Г. Э. Цырлин, Ф. И. Зубов, Ж. И. Алфёров, “Изготовление терагерцового квантово-каскадного лазера с двойным металлическим волноводом на основе многослойных гетероструктур GaAs/AlGaAs”, Физика и техника полупроводников, 50:10 (2016), 1395–1400; Semiconductors, 50:10 (2016), 1377–1382
\RBibitem{KhaShcPav16}
\by Р.~А.~Хабибуллин, Н.~В.~Щаврук, А.~Ю.~Павлов, Д.~С.~Пономарев, К.~Н.~Томош, Р.~Р.~Галиев, П.~П.~Мальцев, А.~Е.~Жуков, Г.~Э.~Цырлин, Ф.~И.~Зубов, Ж.~И.~Алфёров
\paper Изготовление терагерцового квантово-каскадного лазера с двойным металлическим волноводом на основе многослойных гетероструктур GaAs/AlGaAs
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2016
\vol 50
\issue 10
\pages 1395--1400
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts6345}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=27369019}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2016
\vol 50
\issue 10
\pages 1377--1382
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782616100134}
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6345
https://www.mathnet.ru/rus/phts/v50/i10/p1395
Эта публикация цитируется в следующих 20 статьяx:
Ulugbek Erkaboev, Rustamjon Rakhimov, Jasurbek Mirzaev, Nozimjon Sayidov, Ulugbek Negmatov, Abdulla Mashrapov, PROBLEMS IN THE TEXTILE AND LIGHT INDUSTRY IN THE CONTEXT OF INTEGRATION OF SCIENCE AND INDUSTRY AND WAYS TO SOLVE THEM: (PTLICISIWS-2022), 2789, PROBLEMS IN THE TEXTILE AND LIGHT INDUSTRY IN THE CONTEXT OF INTEGRATION OF SCIENCE AND INDUSTRY AND WAYS TO SOLVE THEM: (PTLICISIWS-2022), 2023, 040056
U. I. Erkaboev, N. A. Sayidov, U. M. Negmatov, R. G. Rakhimov, J. I. Mirzaev, D. Bazarov, “Temperature dependence of width band gap in Inxga1-Xasquantum well in presence of transverse strong magnetic field”, E3S Web of Conf., 401 (2023), 04042
D. V. Ushakov, A. A. Afonenko, D. S. Ponomarev, S. S. Pushkarev, V. I. Gavrilenko, R. A. Khabibullin, “New Designs of Laser Transitions in Terahertz Quantum–Cascade Lasers”, Radiophys Quantum El, 65:5-6 (2022), 461
D. V. Ushakov, A. A. Afonenko, I. A. Glinskiy, R. A. Khabibullin, “High-temperature terahertz quantum-cascade lasers: design optimization and experimental results”, Rossijskij tehnologičeskij žurnal, 10:3 (2022), 45
R. A. Khabibullin, S. S. Pushkarev, R. R. Galiev, N. V. Shchavruk, I. N. Dyuzhikov, V. V. Pavlovskiy, O. Yu. Volkov, “Tuning of the Spectral Characteristics of Terahertz Quantum-Cascade Lasers”, Nanotechnol Russia, 17:S1 (2022), S35
Р. А. Хабибуллин, К. В. Маремьянин, Д. С. Пономарев, Р. Р. Галиев, А. А. Зайцев, А. И. Данилов, И. С. Васильевский, А. Н. Виниченко, А. Н. Клочков, А. А. Афоненко, Д. В. Ушаков, С. В. Морозов, В. И. Гавриленко, “Квантово-каскадный лазер на 3.3 ТГц на основе активного модуля из трех квантовых ям GaAs/AlGaAs с рабочей температурой > 120 K”, Физика и техника полупроводников, 55:11 (2021), 989–994; R. A. Khabibullin, K. V. Marem'yanin, D. S. Ponomarev, R. R. Galiev, A. A. Zaitsev, A. I. Danilov, I. S. Vasil'evskii, A. N. Vinichenko, A. N. Klochkov, A. A. Afonenko, D. V. Ushakov, S. V. Morozov, V. I. Gavrilenko, “3.3 THz quantum cascade laser based on a three GaAs/AlGaAs quantum-well active module with an operating temperature above 120 K”, Semiconductors, 56 (2022), –
R. A. Khabibullin, N. V. Shchavruk, D. S. Ponomarev, D. V. Ushakov, A. A. Afonenko, O. Yu. Volkov, V. V. Pavlovskiy, K. V. Maremyanin, A. A. Dubinov, PROCEEDINGS OF INTERNATIONAL CONGRESS ON GRAPHENE, 2D MATERIALS AND APPLICATIONS (2D MATERIALS 2019), 2359, PROCEEDINGS OF INTERNATIONAL CONGRESS ON GRAPHENE, 2D MATERIALS AND APPLICATIONS (2D MATERIALS 2019), 2021, 020014
А. К. Долгов, Д. В. Ушаков, А. А. Афоненко, И. Н. Дюжиков, И. А. Глинский, Д. С. Пономарев, Р. А. Хабибуллин, “Моделирование эффективности электрической накачки квантово-каскадного терагерцевого лазера при неоднородном питании током”, Квантовая электроника, 51:2 (2021), 164–168; A. K. Dolgov, D. V. Ushakov, A. A. Afonenko, I. N. Dyuzhikov, I. A. Glinskiy, D. S. Ponomarev, R. A. Khabibullin, “Simulation on the nonuniform electrical pumping efficiency of THz quantum-cascade lasers”, Quantum Electron., 51:2 (2021), 164–168
Г. Э. Цырлин, Р. Р. Резник, А. Е. Жуков, Р. А. Хабибуллин, К. В. Маремьянин, В. И. Гавриленко, С. В. Морозов, “Особенности роста наноструктур для терагерцовых квантово-каскадных лазеров и их физические свойства”, Физика и техника полупроводников, 54:9 (2020), 902–905; G. E. Cirlin, R. R. Reznik, A. E. Zhukov, R. A. Khabibullin, K. V. Marem'yanin, V. I. Gavrilenko, S. V. Morozov, “Specific growth features of nanostructures for terahertz quantum cascade lasers and their physical properties”, Semiconductors, 54:9 (2020), 1092–1095
R.A. Khabibullin, N.V. Shchavruk, D.S. Ponomarev, D.V. Ushakov, A.A. Afonenko, K.V. Maremyanin, O.Yu. Volkov, V.V. Pavlovskiy, A.A. Dubinov, “The operation of THz quantum cascade laser in the region of negative differential resistance”, Opto-Electronics Review, 27:4 (2019), 329
Rustam Khabibullin, Dmitriy Ushakov, Alexander Afonenko, Nikolay Shchavruk, Dmitriy Ponomarev, Oleg Volkov, Valeriy Pavlovskiy, Ivan Vasil'evskii, Danil Safonov, Alexander Dubinov, Vladimir F. Lukichev, Konstantin V. Rudenko, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018, 2019, 35
Д. В. Ушаков, А. А. Афоненко, А. А. Дубинов, В. И. Гавриленко, О. Ю. Волков, Н. В. Щаврук, Д. С. Пономарев, Р. А. Хабибуллин, “Моделирование квантово-каскадных лазеров терагерцевого диапазона частот методом балансных уравнений на основе базиса волновых функций с уменьшенными дипольными моментами туннельно-связанных состояний”, Квантовая электроника, 49:10 (2019), 913–918; D. V. Ushakov, A. A. Afonenko, A. A. Dubinov, V. I. Gavrilenko, O. Yu. Volkov, N. V. Shchavruk, D. S. Ponomarev, R. A. Khabibullin, “Balance-equation method for simulating terahertz quantum-cascade lasers using a wave-function basis with reduced dipole moments of tunnel-coupled states”, Quantum Electron., 49:10 (2019), 913–918
Rustam Khabibullin, Dmitriy Ushakov, Alexander Afonenko, Nikolai Shchavruk, Dmitriy Ponomarev, Ivan Vasil'evskii, Danil Safonov, Alexander Dubinov, Vladimir L. Derbov, Saratov Fall Meeting 2018: Laser Physics, Photonic Technologies, and Molecular Modeling, 2019, 38
R A Khabibullin, N V Shchavruk, A Yu Pavlov, A N Klochkov, I A Glinskiy, K N Tomosh, D S Ponomarev, G E Cirlin, A E Zhukov, “Design and fabrication of terahertz quantum cascade laser with double metal waveguide based on multilayer GaAs/AlGaAs heterostructures”, IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng., 475 (2019), 012020
Р. А. Хабибуллин, Н. В. Щаврук, Д. С. Пономарев, Д. В. Ушаков, А. А. Афоненко, И. С. Васильевский, А. А. Зайцев, А. И. Данилов, О. Ю. Волков, В. В. Павловский, К. В. Маремьянин, В. И. Гавриленко, “Температурная зависимость порогового тока и выходной мощности квантово-каскадного лазера с частотой генерации 3.3 ТГц”, Физика и техника полупроводников, 52:11 (2018), 1268–1273; R. A. Khabibullin, N. V. Shchavruk, D. S. Ponomarev, D. V. Ushakov, A. A. Afonenko, I. S. Vasil'evskii, A. A. Zaitsev, A. I. Danilov, O. Yu. Volkov, V. V. Pavlovskiy, K. V. Marem'yanin, V. I. Gavrilenko, “Temperature dependences of the threshold current and output power of a quantum-cascade laser emitting at 3.3 THz”, Semiconductors, 52:11 (2018), 1380–1385
Р. А. Хабибуллин, Н. В. Щаврук, А. Н. Клочков, И. А. Глинский, Н. В. Зенченко, Д. С. Пономарев, П. П. Мальцев, А. А. Зайцев, Ф. И. Зубов, А. Е. Жуков, Г. Э. Цырлин, Ж. И. Алфёров, “Энергетический спектр и тепловые свойства терагерцового квантово-каскадного лазера на основе резонансно-фононного дизайна”, Физика и техника полупроводников, 51:4 (2017), 540–546; R. A. Khabibullin, N. V. Shchavruk, A. N. Klochkov, I. A. Glinskiy, N. V. Zenchenko, D. S. Ponomarev, P. P. Maltsev, A. A. Zaitsev, F. I. Zubov, A. E. Zhukov, G. E. Cirlin, Zh. I. Alferov, “Energy spectrum and thermal properties of a terahertz quantum-cascade laser based on the resonant-phonon depopulation scheme”, Semiconductors, 51:4 (2017), 514–519
А. В. Иконников, К. В. Маремьянин, С. В. Морозов, В. И. Гавриленко, А. Ю. Павлов, Н. В. Щаврук, Р. А. Хабибуллин, Р. Р. Резник, Г. Э. Цырлин, Ф. И. Зубов, А. Е. Жуков, Ж. И. Алфёров, “Генерация терагерцового излучения в многослойных квантово-каскадных гетероструктурах”, Письма в ЖТФ, 43:7 (2017), 86–94; A. V. Ikonnikov, K. V. Marem'yanin, S. V. Morozov, V. I. Gavrilenko, A. Yu. Pavlov, N. V. Shchavruk, R. A. Khabibullin, R. R. Reznik, G. E. Cirlin, F. I. Zubov, A. E. Zhukov, Zh. I. Alferov, “Terahertz radiation generation in multilayer quantum-cascade heterostructures”, Tech. Phys. Lett., 43:4 (2017), 362–365
Rustam A. Khabibullin, Nikolay V. Shchavruk, Aleksandr Yu. Pavlov, Alexey N. Klochkov, Dmitry S. Ponomarev, Igor A. Glinskiy, Petr P. Maltsev, Alexey E. Zhukov, George E. Cirlin, Zhores I. Alferov, “Terahertz Quantum-Cascade Laser Based on the Resonant-Phonon Depopulation Scheme”, Int. J. Hi. Spe. Ele. Syst., 25:03n04 (2016), 1640022