Аннотация:
Рассчитана конструкция AlN/GaN гетероструктур со сверхтонким AlN-барьером для нормально закрытых транзисторов. Развита технология молекулярно-лучевой эпитаксии in situ пассивированных гетероструктур SiN/AlN/GaN с двумерным электронным газом. Продемонстрированы нормально закрытые транзисторы с максимальной плотностью тока около 1 А/мм, напряжением насыщения 1 В, крутизной до 350 мС/мм, пробивным напряжением более 60 В. В транзисторах практически отсутствуют эффекты затворного и стокового коллапса тока.
Поступила в редакцию: 30.08.2016 Принята в печать: 05.09.2016
Образец цитирования:
К. С. Журавлев, Т. В. Малин, В. Г. Мансуров, О. Е. Терещенко, К. К. Абгарян, Д. Л. Ревизников, В. Е. Земляков, В. И. Егоркин, Я. М. Парнес, В. Г. Тихомиров, И. П. Просвирин, “AlN/GaN-гетероструктуры для нормально закрытых транзисторов”, Физика и техника полупроводников, 51:3 (2017), 395–402; Semiconductors, 51:3 (2017), 379–386
S. Ardali, F. Sonmez, S.B. Lisesivdin, T. Malin, V. Mansurov, K. Zhuravlev, E. Tiras, “The comprehensive investigation of barrier layers on power loss mechanisms in AlGaN/GaN HEMT structures”, Materials Science and Engineering: B, 300 (2024), 117075
F. Sonmez, S. Ardali, G. Atmaca, S.B. Lisesivdin, T. Malin, V. Mansurov, K. Zhuravlev, E. Tiras, “The effect of passivation layer, doping and spacer layer on electron- longitudinal optical phonon momentum relaxation time in Al0.3Ga0.7N/AlN/GaN heterostructures”, Materials Science in Semiconductor Processing, 122 (2021), 105449
K Zhuravlev, V Mansurov, Yu Galitsyn, T Malin, D Milakhin, V Zemlyakov, “Evolution of the surface states during the in situ SiN layer formation on AlN/GaN heterostructures”, Semicond. Sci. Technol., 35:7 (2020), 075004
T. V. Malin, D. S. Milakhin, V. G. Mansurov, A. S. Kozhukhov, D. Yu. Protasov, I. D. Loshkarev, K. S. Zhuravlev, “Growth of Nitride Heteroepitaxial Transistor Structures: from Epitaxy of Buffer Layers to Surface Passivation”, Optoelectron.Instrument.Proc., 56:5 (2020), 485
G Yakovlev, V Zubkov, “ECV profiling of GaN HEMT heterostructures”, J. Phys.: Conf. Ser., 1199 (2019), 012032