|
XXV Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника", Нижний Новгород, 9-12 марта 2021 г.
Легирование углеродных нанослоев, выращенных импульсным лазерным методом
Ю. А. Даниловa, А. В. Алафердовab, О. В. Вихроваa, Д. А. Здоровейщевa, В. А. Ковальскийc, Р. Н. Крюковa, Ю. М. Кузнецовa, В. П. Лесниковa, А. В. Неждановa, М. Н. Дроздовd a Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
b Center for Semiconductor Components and Nanotechnologies, University of Campinas, 13083-870 Campinas, SP, Brazil
c Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская область, Россия
d Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Исследованы возможности легирования углеродных слоев, выращиваемых методом импульсного лазерного нанесения, примесями переходных металлов. Изучены состав, оптические и электрические параметры структур на подложках GaAs и Si/SiO2. Показано, что введение таких атомов, как Fe, модифицирует магнитные свойства слоев, вызывая нелинейные магнитополевые зависимости эффекта Холла при температурах вплоть до 300 K.
Ключевые слова:
импульсное лазерное нанесение, углеродные слои, легирование, примеси переходных металлов.
Поступила в редакцию: 09.04.2021 Исправленный вариант: 19.04.2021 Принята в печать: 19.04.2021
Образец цитирования:
Ю. А. Данилов, А. В. Алафердов, О. В. Вихрова, Д. А. Здоровейщев, В. А. Ковальский, Р. Н. Крюков, Ю. М. Кузнецов, В. П. Лесников, А. В. Нежданов, М. Н. Дроздов, “Легирование углеродных нанослоев, выращенных импульсным лазерным методом”, Физика и техника полупроводников, 55:8 (2021), 637–643; Semiconductors, 55:8 (2021), 660–666
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts4993 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v55/i8/p637
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 77 | PDF полного текста: | 56 |
|