|
Физика и техника полупроводников, 1991, том 25, выпуск 6, страницы 1075–1078
(Mi phts4350)
|
|
|
|
Краткие сообщения
Исследование поведения примесей марганца и никеля при диффузионном
легировании кремния
К. П. Абдурахманов, Г. С. Куликов, А. А. Лебедев, Ш. Б. Утамурадова, Ш. А. Юсупова
Образец цитирования:
К. П. Абдурахманов, Г. С. Куликов, А. А. Лебедев, Ш. Б. Утамурадова, Ш. А. Юсупова, “Исследование поведения примесей марганца и никеля при диффузионном
легировании кремния”, Физика и техника полупроводников, 25:6 (1991), 1075–1078
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts4350 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v25/i6/p1075
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 85 | PDF полного текста: | 47 |
|