Оценка точности метода определения раздельной концентрации примесей из измерений постоянной Холла

На примере $p\text{-Si}\langle\text{B,\,Ga}\rangle$ с различной степенью компенсации проведена сравнительная оценка точности определения раздельной концентрации примесей по температурной зависимости концентрации дырок $p(T)$ в случае одной и двух легирующих примесей с энергиями ионизации, различающимися менее чем в 2 раза. Исследована функция среднеквадратичного отклонения в пространстве параметров $D\,(N_{\text{к}}$, $N_{2}$) ($N_{\text{к}}$, $N_{1}$ и $N_{2}$ — концентрации компенсирующих примесей бора и галлия соответственно, $N_{2}\gg N_{1}$) в предположении, что $N_{2}$, энергии B и Ga известны. Показано, что в случае двух легирующих примесей $D\,(N_{\text{к}}$, $N_{1}$) в окрестностях минимума имеет «овражный» рельеф и при некоторых соотношениях между $N_{\text{к}}$ и $N_{1}$ разброс искомых величин превышает порядок, причем увеличение точности измерений $p(T)$ существенного улучшения в вычислении параметров не дает. При одной легирующей примеси точность вычисления параметров высокая.