Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 1986, том 20, выпуск 9, страницы 1726–1728 (Mi phts398)  
Краткие сообщения

Отжиг дефектов и электрическая активация примеси в процессе высокоинтенсивного ионного легирования кремния

Ф. Ф. Комаров, А. П. Новиков, И. А. Радишевский, Т. Т. Самойлюк, В. П. Толстых
PDF полного текста (461 kB)
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Ф. Ф. Комаров, А. П. Новиков, И. А. Радишевский, Т. Т. Самойлюк, В. П. Толстых, “Отжиг дефектов и электрическая активация примеси в процессе высокоинтенсивного ионного легирования кремния”, Физика и техника полупроводников, 20:9 (1986), 1726–1728
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KomNov86}
\by Ф.~Ф.~Комаров, А.~П.~Новиков, И.~А.~Радишевский, Т.~Т.~Самойлюк, В.~П.~Толстых
\paper Отжиг дефектов и~электрическая активация примеси в~процессе
высокоинтенсивного ионного легирования кремния
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 1986
\vol 20
\issue 9
\pages 1726--1728
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts398}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts398
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v20/i9/p1726
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:65
    PDF полного текста:38
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025