Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js
Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 1988, том 22, выпуск 10, страницы 1803–1807 (Mi phts3077)  
Определение времени жизни неосновных носителей в полупроводниках при возбуждении электронным пучком в РЭМ

С. Г. Конников, В. Е. Уманский, В. М. Чистяков, И. И. Лодыженский
PDF полного текста (642 kB)
Аннотация: Разработана теоретическая модель метода определения времени жизни неосновных носителей в полупроводниках при возбуждении импульсным электронным пучком в растровом электронном микроскопе (РЭМ) с использованием барьера Шоттки для регистрации сигнала тока, индуцированного электронным зондом. Метод экспериментально реализован в РЭМ с временны́м разрешением 50 пс. Приведены результаты определения электрофизических параметров при исследовании эпитаксиальных слоев GaAs с различной концентрацией легирующей примеси. Измеренные в эксперименте значения диффузионной длины и времени жизни неосновных носителей позволяют рассчитать коэффициент диффузии и подвижность в локальной области полупроводника.
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: С. Г. Конников, В. Е. Уманский, В. М. Чистяков, И. И. Лодыженский, “Определение времени жизни неосновных носителей в полупроводниках при возбуждении электронным пучком в РЭМ”, Физика и техника полупроводников, 22:10 (1988), 1803–1807
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KonUma88}
\by С.~Г.~Конников, В.~Е.~Уманский, В.~М.~Чистяков, И.~И.~Лодыженский
\paper Определение времени жизни неосновных носителей в~полупроводниках при
возбуждении электронным пучком в~РЭМ
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 1988
\vol 22
\issue 10
\pages 1803--1807
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts3077}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts3077
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v22/i10/p1803
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:82
    PDF полного текста:38
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025