Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js
Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 1986, том 20, выпуск 1, страницы 149–152 (Mi phts30)  
Краткие сообщения

Синтез монокристаллического карбида кремния с помощью одношаговой техники высокоинтенсивного ионного легирования

П. А. Александров, Е. К. Баранова, К. Д. Демаков, Ф. Ф. Комаров, А. П. Новиков, С. Ю. Ширяев

Институт прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко Белорусского государственного университета, г. Минск
PDF полного текста (5428 kB)
Поступила в редакцию: 18.06.1985
Принята в печать: 12.07.1985
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: П. А. Александров, Е. К. Баранова, К. Д. Демаков, Ф. Ф. Комаров, А. П. Новиков, С. Ю. Ширяев, “Синтез монокристаллического карбида кремния с помощью одношаговой техники высокоинтенсивного ионного легирования”, Физика и техника полупроводников, 20:1 (1986), 149–152
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{AleBarDem86}
\by П.~А.~Александров, Е.~К.~Баранова, К.~Д.~Демаков, Ф.~Ф.~Комаров, А.~П.~Новиков, С.~Ю.~Ширяев
\paper Синтез монокристаллического карбида кремния с~помощью одношаговой
техники высокоинтенсивного ионного легирования
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 1986
\vol 20
\issue 1
\pages 149--152
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts30}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts30
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v20/i1/p149
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:73
    PDF полного текста:46
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025