|
Физика и техника полупроводников, 1988, том 22, выпуск 1, страницы 16–19
(Mi phts2663)
|
|
|
|
Влияние ориентированной деформации и $\gamma$-облучения на уровни
платины в кремнии
А. А. Лебедев, Н. А. Султанов
Аннотация:
При диффузионном легировании платина образует
в кремнии акцепторы и доноры с энергиями ионизации
${E_{a}=E_{c}-0.26}$ и ${E_{v}+0.36}$ эВ с сечениями захвата носителей
тока ${9.7\cdot 10^{-15}}$ и ${3.8\cdot10^{-14}\,\text{см}^{2}}$
соответственно. В $n$-Si преобладают акцепторы, в $p$-Si — доноры.
Под действием одноосного давления $E_{a}$ уменьшается. Изменение $E_{a}$
составляет 13$-$36 мэВ/ГПа в зависимости от ориентации образца. После
облучения $\gamma$-квантами ${}^{60}$Со концентрация уровней Pt незначительно
уменьшается (на 20% при дозе ${7.4\cdot 10^{18}\,\text{кв/см}^{2}}$).
Скорость образования радиационных дефектов в Si (Pt) выше,
чем в контрольных образцах.
Образец цитирования:
А. А. Лебедев, Н. А. Султанов, “Влияние ориентированной деформации и $\gamma$-облучения на уровни
платины в кремнии”, Физика и техника полупроводников, 22:1 (1988), 16–19
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts2663 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v22/i1/p16
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 55 | PDF полного текста: | 25 |
|