|
Физика и техника полупроводников, 1984, том 18, выпуск 12, страницы 2160–2165
(Mi phts2071)
|
|
|
|
Исследование рекомбинации неравновесных носителей в кремнии методом
СВЧ
В. А. Заварицкая, А. В. Кудинов, В. А. Миляев, В. А. Никитин, А. М. Прохоров, А. В. Ширков
Аннотация:
Разработан неразрушающий бесконтактный метод
определения основных электрофизических параметров кремниевых пластин
с помощью исследования кинетики фотопроводимости в СВЧ поле при импульсном
лазерном возбуждении. Предложен способ расчета кинетики при импульсном
возбуждении неравновесных носителей, приведено сопоставление с экспериментом
на образце кремния. Определены скорости поверхностной рекомбинации, коэффициент
амбиполярной диффузии и объемное время жизни неравновесных носителей.
Образец цитирования:
В. А. Заварицкая, А. В. Кудинов, В. А. Миляев, В. А. Никитин, А. М. Прохоров, А. В. Ширков, “Исследование рекомбинации неравновесных носителей в кремнии методом
СВЧ”, Физика и техника полупроводников, 18:12 (1984), 2160–2165
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts2071 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v18/i12/p2160
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 99 | PDF полного текста: | 51 |
|