|
Физика и техника полупроводников, 1984, том 18, выпуск 10, страницы 1763–1766
(Mi phts1977)
|
|
|
|
ЭПР дефектов в Si⟨⟨Al⟩⟩, облученном большими дозами
электронов
А. В. Двуреченский, Б. П. Кашников, В. В. Супрунчик
Аннотация:
В кремнии, содержащем алюминий в концентрациях
6⋅1017−5⋅1018см−3 и облученном
электронами с энергией 1 МэВ в интервале доз
1⋅1018−2⋅1020см−2, обнаружен новый
парамагнитный центр, обозначенный H5. Методом ЭПР проведен анализ структуры
центра H5, который показал, что центр имеет спин, равный 1/2, и
симметрию \{110\}. Определены главные значения g-тензора и их ориентация
относительно кристаллографических осей ${g_{1}=2.0063}$,
${g _{2}=2.0005}$, ${g_{3}= 2.0036(\pm0.0001)}$, θ=13±2∘,
где θ — угол между направлением [110] и $g_{1}$,
расположенным вместе с $g_{2}$ в плоскости (110), a
${g_{3}\parallel [1\bar{1}0]}$. Обнаружена сверхтонкая структура,
обусловленная взаимодействием неспаренного электрона с двумя неэквивалентными
ядрами изотопа 29Si и с ядром 27Аl. Константа сверхтонкого
взаимодействия (СТВ) с ядром
27Аl равна (4.0±0.7)⋅10−4см−1. Тензор СТВ
с одним из ядер 29Si аксиально симметричен и его главные значения
составляют A⊥=41.6⋅10−4 и
A∥=62.5⋅10−4см−1.
Определены плотности волновой функции неспаренного электрона на каждом из
атомов 29Si (∼24, 15% в s-состоянии и 85% в p-состоянии)
и на 27Аl (0.3%). На основе анализа полученных результатов предлагается
возможная модель, согласно которой центр H5 состоит из дивакансии
и междоузельного атома алюминия, находящихся в плоскости \{110\}. Неспаренный
электрон расположен на протяженной орбитали дивакансии (около 50%
плотности волновой функции).
Образец цитирования:
А. В. Двуреченский, Б. П. Кашников, В. В. Супрунчик, “ЭПР дефектов в Si⟨Al⟩, облученном большими дозами
электронов”, Физика и техника полупроводников, 18:10 (1984), 1763–1766
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts1977 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v18/i10/p1763
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 56 | PDF полного текста: | 21 |
|