|
Физика и техника полупроводников, 1985, том 19, выпуск 6, страницы 1156–1158
(Mi phts1283)
|
|
|
|
Краткие сообщения
Оценка профиля распределения степени окисления кремния в переходных
слоях Si−SiO2
Х. С. Далиев, А. А. Лебедев, В. Экке
Образец цитирования:
Х. С. Далиев, А. А. Лебедев, В. Экке, “Оценка профиля распределения степени окисления кремния в переходных
слоях Si−SiO2”, Физика и техника полупроводников, 19:6 (1985), 1156–1158
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts1283 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v19/i6/p1156
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 57 | PDF полного текста: | 35 |
|