Изучение влияния энергии ионов неона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния при ионном травлении

Приведены результаты изучения энергетических зависимостей коэффициента распыления и величины эффективной шероховатости поверхности монокристаллического кремния при облучении ионами неона с энергией 100–1000 eV. Определены параметры ионно-пучкового травления ускоренными ионами Ne, обеспечивающие высокий коэффициент распыления (скорость травления). Установлено значение эффективной шероховатости в диапазоне пространственных частот 4.9 $\cdot$ 10$^{-2}$ – 6.3 $\cdot$ 10$^1$ $\mu$m$^{-1}$, составившее менее 0.3 nm для основных срезов монокристаллического кремния $\langle$100$\rangle$, $\langle$110$\rangle$ и $\langle$111$\rangle$.