|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
XXVII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'' Н. Новгород, 13-16 марта, 2023 г.
Физическая электроника
Изучение влияния энергии ионов неона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния при ионном травлении
М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, А. К. Чернышев, М. В. Зорина, Н. И. Чхало, Н. Н. Салащенко Институт физики микроструктур РАН, 607680 Нижний Новгород, Россия
Аннотация:
Приведены результаты изучения энергетических зависимостей коэффициента распыления и величины эффективной шероховатости поверхности монокристаллического кремния при облучении ионами неона с энергией 100–1000 eV. Определены параметры ионно-пучкового травления ускоренными ионами Ne, обеспечивающие высокий коэффициент распыления (скорость травления). Установлено значение эффективной шероховатости в диапазоне пространственных частот 4.9 ⋅ 10−2 – 6.3 ⋅ 101 μm−1, составившее менее 0.3 nm для основных срезов монокристаллического кремния ⟨100⟩, ⟨110⟩ и ⟨111⟩.
Ключевые слова:
поверхность, шероховатости, распыление, ионное травление.
Поступила в редакцию: 12.05.2023 Исправленный вариант: 12.05.2023 Принята в печать: 12.05.2023
Образец цитирования:
М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, А. К. Чернышев, М. В. Зорина, Н. И. Чхало, Н. Н. Салащенко, “Изучение влияния энергии ионов неона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния при ионном травлении”, ЖТФ, 93:7 (2023), 1046–1050
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf7048 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v93/i7/p1046
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 56 | PDF полного текста: | 26 |
|