Аннотация:
Описаны экспериментальный стенд и результаты исследований аберраций источников эталонной сферической волны (ИЭСВ) на основе одномодового оптического волокна с субволновой выходной апертурой с использованием оптической части регистрирующей системы (ОЧРС). ИЭСВ и ОЧРС разрабатываются для безэталонного интерферометра с дифракционной волной сравнения. Описаны методики, позволяющие минимизировать ошибки измерений. Разработанные ИЭСВ и ОЧРС обеспечивают субнанометровую точность измерений оптики. Обсуждены возможности повышения точности измерений интерферометра до пикометрового уровня.
Образец цитирования:
А. А. Ахсахалян, Д. А. Гаврилин, И. В. Малышев, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Б. А. Уласевич, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, “Ошибки измерений интерферометров с дифракционной волной сравнения”, ЖТФ, 89:11 (2019), 1789–1794; Tech. Phys., 64:11 (2019), 1698–1703
M. N. Toropov, A. A. Akhsakhalyan, I. V. Malyshev, M. S. Mikhaylenko, A. E. Pestov, N. N. Salaschenko, A. K. Chernyshov, N. I. Chkhalo, “Wavefront Lens Corrector for Studying Flat Surfaces”, Tech. Phys., 69:3 (2024), 730
Egor V. Petrakov, Nikolay I. Chkhalo, Alexey K. Chernyshev, Egor I. Glushkov, “Effective filtering of diffraction rings on surface maps of high-precision X-ray mirrors as reconstructed from high-coherence interferometry data”, Opt. Eng., 63:11 (2024)
М. Н. Торопов, А. А. Ахсахалян, М. В. Зорина, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, Ю. М. Токунов, “Получение гладких высокоточных поверхностей методом механического притира”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1958–1964; M. N. Toropov, A. A. Akhsakhalyan, M. V. Zorina, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, Yu. M. Tokunov, “Obtaining of smooth high-precision surfaces by the mechanical lapping method”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1873–1879