Аннотация:
Приведены результаты исследований многослойных зеркал Mo/Si с межслоевыми прослойками B$_{4}$C и Be в окрестности длины волны 13.5 nm. Показано, что четырехкомпонентное многослойное зеркало типа Mo/Be/Si/B$_{4}$C по коэффициенту отражения превосходит на 2% зеркало Mo/Si и на 1.3% зеркало Mo/Si/B$_{4}$C. Также это зеркало обеспечивает наибольшую спектральную полосу пропускания на полувысоте ($\Delta\lambda_{1/2}$ = 0.535 nm). Дано объяснение этим эффектам.
Образец цитирования:
С. Ю. Зуев, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, F. Schäfers, M. G. Sertsu, A. Sokolov, “Влияние барьерных слоев бериллия на свойства многослойных зеркал Mo/Si”, ЖТФ, 89:11 (2019), 1779–1782; Tech. Phys., 64:11 (2019), 1688–1691
E. A. Sosnin, D. A. Sorokin, “Current Sources of Vacuum Ultraviolet Radiation: State and Prospects (A Review)”, Plasma Phys. Rep., 50:7 (2024), 880
Gleb D. Demin, Pavel P. Kim, Mikhail M. Pozdnyakov, Nikolay A. Filippov, Nikolay A. Dyuzhev, 2022 IEEE 23rd International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM), 2022, 88
N. Kumar, A. T. Kozakov, A. V. Nezhdanov, R. M. Smertin, V. N. Polkovnikov, N. I. Chkhalo, A. I. Mashin, A. N. Nikolskii, A. A. Scrjabin, S. Y. Zuev, “Quantum Confinement Effect in a Nanoscale Mo/Si Multilayer Structure”, J. Phys. Chem. C, 124:32 (2020), 17795
Niranjan Kumar, Vladimir A. Volodin, Ruslan M. Smertin, Pavel A. Yunin, Vladimir N. Polkovnoikov, Kalpataru Panda, Andrey N. Nechay, Nikolay I. Chkhalo, “Raman scattering study of nanoscale Mo/Si and Mo/Be periodic multilayer structures”, Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, 38:6 (2020)