Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js
Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2019, том 89, выпуск 11, страницы 1779–1782
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48344.130-19 (Mi jtf5474) 		 
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

XXIII Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 11-14 марта 2019 г.

Влияние барьерных слоев бериллия на свойства многослойных зеркал Mo/Si

С. Ю. Зуевa, Р. С. Плешковa, В. Н. Полковниковa, Н. Н. Салащенкоa, М. В. Свечниковa, Н. И. Чхалоa, F. Schäfersb, M. G. Sertsub, A. Sokolovb

a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Helmholtz-Zentrum Berlin, Berlin, Germany
PDF полного текста (199 kB) Список цитирования (4)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48344.130-19
Аннотация: Приведены результаты исследований многослойных зеркал Mo/Si с межслоевыми прослойками B$_{4}$C и Be в окрестности длины волны 13.5 nm. Показано, что четырехкомпонентное многослойное зеркало типа Mo/Be/Si/B$_{4}$C по коэффициенту отражения превосходит на 2% зеркало Mo/Si и на 1.3% зеркало Mo/Si/B$_{4}$C. Также это зеркало обеспечивает наибольшую спектральную полосу пропускания на полувысоте ($\Delta\lambda_{1/2}$ = 0.535 nm). Дано объяснение этим эффектам.
Ключевые слова: рентгеновское излучение, многослойные зеркала, магнетронное распыление.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 18-02-00588
18-02-00173
18-32-00173
19-02-00081
17-52-150006
Работа выполнена при поддержке грантов РФФИ 18-02-00588, 18-02-00173, 18-32-00173, 19-02-00081, 17-52-150006 и программы РАН 0035-2018-0011.
Поступила в редакцию: 28.03.2019
Исправленный вариант: 28.03.2019
Принята в печать: 15.04.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2019, Volume 64, Issue 11, Pages 1688–1691
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784219110318
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: С. Ю. Зуев, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, F. Schäfers, M. G. Sertsu, A. Sokolov, “Влияние барьерных слоев бериллия на свойства многослойных зеркал Mo/Si”, ЖТФ, 89:11 (2019), 1779–1782; Tech. Phys., 64:11 (2019), 1688–1691
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ZuePlePol19}
\by С.~Ю.~Зуев, Р.~С.~Плешков, В.~Н.~Полковников, Н.~Н.~Салащенко, М.~В.~Свечников, Н.~И.~Чхало, F.~Sch\"afers, M.~G.~Sertsu, A.~Sokolov
\paper Влияние барьерных слоев бериллия на свойства многослойных зеркал Mo/Si
\jour ЖТФ
\yr 2019
\vol 89
\issue 11
\pages 1779--1782
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5474}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48344.130-19}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=41300874}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2019
\vol 64
\issue 11
\pages 1688--1691
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784219110318}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5474
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v89/i11/p1779
    • Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:
    1. E. A. Sosnin, D. A. Sorokin, “Current Sources of Vacuum Ultraviolet Radiation: State and Prospects (A Review)”, Plasma Phys. Rep., 50:7 (2024), 880  crossref
    2. Gleb D. Demin, Pavel P. Kim, Mikhail M. Pozdnyakov, Nikolay A. Filippov, Nikolay A. Dyuzhev, 2022 IEEE 23rd International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM), 2022, 88  crossref
    3. N. Kumar, A. T. Kozakov, A. V. Nezhdanov, R. M. Smertin, V. N. Polkovnikov, N. I. Chkhalo, A. I. Mashin, A. N. Nikolskii, A. A. Scrjabin, S. Y. Zuev, “Quantum Confinement Effect in a Nanoscale Mo/Si Multilayer Structure”, J. Phys. Chem. C, 124:32 (2020), 17795  crossref
    4. Niranjan Kumar, Vladimir A. Volodin, Ruslan M. Smertin, Pavel A. Yunin, Vladimir N. Polkovnoikov, Kalpataru Panda, Andrey N. Nechay, Nikolay I. Chkhalo, “Raman scattering study of nanoscale Mo/Si and Mo/Be periodic multilayer structures”, Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, 38:6 (2020)  crossref
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:81
    PDF полного текста:20
     
      Обратная связь:
    math-net2025_03@mi-ras.ru     		 Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025