Аннотация:
Проведено сравнение теплофизических и механических характеристик бериллия с рядом наиболее перспективных материалов, применяемых для изготовления высокоточных зеркал, работающих в условиях сильных потоков электромагнитного излучения. Обсуждены достоинства бериллия и перспективы его применения для синхротронов 3-го и 4-го поколения. Сообщено о разработанной авторами методике получения сверхгладких поверхностей бериллиевых подложек и полученных предельных шероховатостях. Приведены данные по коэффициентам отражения на длине волны 13.5 nm многослойного Mo/Si-зеркала, нанесенного на его поверхность. Обсуждены перспективы повышения качества полировки бериллиевых подложек.
Работа выполнена в рамках государственного задания 0035-2014-0204, при поддержке грантов Российского фонда фундаментальных исследований 19-02-00081, 18-02-00588, 18-02-00173, 18-07-00633, 18-32-00149 мол_а и 17-02-00640.
Поступила в редакцию: 28.03.2019 Исправленный вариант: 28.03.2019 Принята в печать: 15.04.2019
Образец цитирования:
Н. И. Чхало, М. В. Зорина, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Д. С. Казаков, A. В. Мильков, И. Л. Струля, “Бериллий как материал для термостойких рентгеновских зеркал”, ЖТФ, 89:11 (2019), 1686–1691; Tech. Phys., 64:11 (2019), 1596–1601
Khalil Hassebi, Evgueni Meltchakov, Franck Delmotte, Angelo Giglia, Philippe Jonnard, “Sc/SiC/Al Multilayer Optimization for Li K Spectroscopy”, Applied Sciences, 14:3 (2024), 956
N. I. Chkhalo, A. A. Akhsakhalyan, Yu. A. Vainer, M. V. Zorina, A. E. Pestov, M. V. Svechnikov, M. N. Toropov, N. Kumar, Yu. M. Tokunov, “Application of Cerium Oxide Nanopowders for Silicon Polishing”, Tech. Phys., 69:4 (2024), 824
Alexey E. Pestov, Aleksei Ya. Lopatin, Petr V. Volkov, Maria V. Zorina, Andrei Yu. Lukyanov, Ilya V. Malyshev, Mikhail S. Mikhailenko, Mikhail N. Toropov, Daniil A. Semikov, Aleksei K. Chernyshev, Nikolay I. Chkhalo, Pavel A. Yunin, Egor I. Glushkov, Sergey K. Gordeev, Svetlana B. Korchagina, “The diamond–silicon carbide composite Skeleton® as a promising material for substrates of intense X-ray beam optics”, J Synchrotron Rad, 31:5 (2024), 1179
M. V. Zorina, M. S. Mikhailenko, A. E. Pestov, M. N. Toropov, A. K. Chernyshev, N. I. Chkhalo, S. K. Gordeev, V. V. Vitkin, “Diamond–Carbide–Silicon Composite “Skeleton” as a Promising Material for X-Ray Optical Substrates”, Tech. Phys., 69:3 (2024), 780
D. V. Kosenkov, V. V. Sagadeev, “Emissivity of Metals of the Second Group of the Periodic Table”, J Eng Phys Thermophy, 2024
M. S. Mikhailenko, A. E. Pestov, N. I. Chkhalo, M. V. Zorina, A. K. Chernyshev, N. N. Salashchenko, I. I. Kuznetsov, “Influence of ion-beam etching by Ar ions with an energy of 200–1000 eV on the roughness and sputtering yield of a single-crystal silicon surface”, Appl. Opt., 61:10 (2022), 2825