|
Твердотельная электроника
Разработка технологии и исследование сверхвысокочастотных переключателей на основе 4H-SiC p–i–n-диодов
А. А. Лебедевa, А. В. Кирилловb, Л. П. Романовb, А. В. Зубовc, А. М. Стрельчукa a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b ЗАО "Светлана-Электронприбор", г. Санкт-Петербург
c Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
Аннотация:
Разработана технология СВЧ p–i–n-диодов на основе карбида кремния (SiC). С использованием данных диодов изготовлены переключатели для трехсантиметрового диапазона. Показано, что разработанные приборы по величине рабочей мощности примерно в 10 раз превышают рабочую мощность переключателей на базе Si-диодов при одинаковой толщине базы, равной 5 μm. Намечены пути дальнейшей оптимизации технологии данных приборов.
Ключевые слова:
карбид кремния, СВЧ диоды, модуляторы, переключатели, аттенюаторы.
Поступила в редакцию: 09.07.2019 Исправленный вариант: 09.07.2019 Принята в печать: 13.08.2019
Образец цитирования:
А. А. Лебедев, А. В. Кириллов, Л. П. Романов, А. В. Зубов, А. М. Стрельчук, “Разработка технологии и исследование сверхвысокочастотных переключателей на основе 4H-SiC p–i–n-диодов”, ЖТФ, 90:2 (2020), 264–267; Tech. Phys., 65:2 (2020), 250–253
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5387 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v90/i2/p264
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 65 | PDF полного текста: | 28 |
|