Loading [MathJax]/jax/output/CommonHTML/jax.js
Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Журнал технической физики, 2020, том 90, выпуск 11, страницы 1958–1964
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49990.127-20
(Mi jtf5168)
 

Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)

XXIV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 10--13 марта 2020 г.
Физические приборы и методы эксперимента

Получение гладких высокоточных поверхностей методом механического притира

М. Н. Тороповa, А. А. Ахсахалянa, М. В. Зоринаa, Н. Н. Салащенкоa, Н. И. Чхалоa, Ю. М. Токуновb

a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), Московская облаcть, г. Долгопрудный
Аннотация: Подробно описана методика получения высокоточных гладких сферических подложек с использованием механического притира и применяемая для этих целей метрология. Приведена модифицированная схема двухзондового интерферометра с дифракционной волной сравнения, обеспечивающая выравнивание интенсивности в плечах интерферометра и перестройку рабочей апертуры без перенастройки прибора. Представлены экспериментальные результаты, полученные при доводке с использованием этой методики вогнутой сферической подложки из плавленого кварца с числовой апертурой NA = 0.30, изготовленной традиционным методом глубокой шлифовки–полировки. Исходные характеристики подложки: точность формы по параметру СКО = 36 nm (λ/20), эффективной шероховатостью в диапазоне пространственных частот 0.025–65 μm1 σeff = 1.1 nm. После доводки подложки параметры поверхности улучшились до значений: СКО = 3.3 nm (λ/200) и σeff = 0.26 nm. Исследовано влияние размера зерна в суспензии на шероховатость и форму подложки.
Ключевые слова: притир, шлифовка–полировка, шероховатость, сферическая подложка.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 075-02-2018-182
Работа выполнена с использованием оборудования ЦКП ИФМ РАН, при поддержке Минобрнауки РФ в рамках Соглашения № 075-02-2018-182 (RFMEFI60418X0202).
Поступила в редакцию: 12.04.2020
Исправленный вариант: 12.04.2020
Принята в печать: 12.04.2020
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2020, Volume 65, Issue 11, Pages 1873–1879
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784220110262
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: М. Н. Торопов, А. А. Ахсахалян, М. В. Зорина, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, Ю. М. Токунов, “Получение гладких высокоточных поверхностей методом механического притира”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1958–1964; Tech. Phys., 65:11 (2020), 1873–1879
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{TorAkhZor20}
\by М.~Н.~Торопов, А.~А.~Ахсахалян, М.~В.~Зорина, Н.~Н.~Салащенко, Н.~И.~Чхало, Ю.~М.~Токунов
\paper Получение гладких высокоточных поверхностей методом механического притира
\jour ЖТФ
\yr 2020
\vol 90
\issue 11
\pages 1958--1964
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5168}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49990.127-20}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=44588729}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2020
\vol 65
\issue 11
\pages 1873--1879
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784220110262}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5168
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v90/i11/p1958
  • Эта публикация цитируется в следующих 8 статьяx:
    1. N. I. Chkhalo, A. A. Akhsakhalyan, M. V. Zorina, M. N. Toropov, Yu. M. Tokunov, “Method for Obtaining Atomically Smooth Substrates from Single-Crystal Silicon by Mechanical Lapping”, Tech. Phys., 69:4 (2024), 812  crossref
    2. M. N. Toropov, A. A. Akhsakhalyan, I. V. Malyshev, M. S. Mikhaylenko, A. E. Pestov, N. N. Salaschenko, A. K. Chernyshov, N. I. Chkhalo, “Wavefront Lens Corrector for Studying Flat Surfaces”, Tech. Phys., 69:3 (2024), 730  crossref
    3. M. V. Zorina, M. S. Mikhailenko, A. E. Pestov, M. N. Toropov, A. K. Chernyshev, N. I. Chkhalo, S. K. Gordeev, V. V. Vitkin, “Diamond–Carbide–Silicon Composite “Skeleton” as a Promising Material for X-Ray Optical Substrates”, Tech. Phys., 69:3 (2024), 780  crossref
    4. N. I. Chkhalo, “New Concept for the Development of High-Performance X-ray Lithography”, Russ Microelectron, 53:5 (2024), 397  crossref
    5. N. I. Chkhalo, N. N. Salashchenko, “Current State and Prospects for the Development of X-Ray Lithography”, J. Surf. Investig., 17:1 (2023), 307  crossref
    6. V. V. Lider, “Grazing-Incidence Focusing Optics for X-Ray Telescopes (Review)”, Instrum Exp Tech, 65:2 (2022), 191  crossref
    7. Aleksei Chernyshev, Nikolay Chkhalo, Ilya Malyshev, Mikhail Mikhailenko, Alexey Pestov, Nikolay Salashchenko, Mikhail Toropov, “Axisymmetric surface shape correction of optical elements by a wide-aperture ion beam”, Appl. Opt., 61:33 (2022), 9879  crossref
    8. Aleksei Chernyshev, Nikolay Chkhalo, Ilya Malyshev, Mikhail Mikhailenko, Alexey Pestov, Roman Pleshkov, Ruslan Smertin, Mikhail Svechnikov, Mikhail Toropov, “Matrix based algorithm for ion-beam figuring of optical elements”, Precision Engineering, 69 (2021), 29  crossref
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:86
    PDF полного текста:40
     
      Обратная связь:
    math-net2025_03@mi-ras.ru
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025