Аннотация:
Подробно описана методика получения высокоточных гладких сферических подложек с использованием механического притира и применяемая для этих целей метрология. Приведена модифицированная схема двухзондового интерферометра с дифракционной волной сравнения, обеспечивающая выравнивание интенсивности в плечах интерферометра и перестройку рабочей апертуры без перенастройки прибора. Представлены экспериментальные результаты, полученные при доводке с использованием этой методики вогнутой сферической подложки из плавленого кварца с числовой апертурой NA = 0.30, изготовленной традиционным методом глубокой шлифовки–полировки. Исходные характеристики подложки: точность формы по параметру СКО = 36 nm (∼λ/20), эффективной шероховатостью в диапазоне пространственных частот 0.025–65 μm−1σeff = 1.1 nm. После доводки подложки параметры поверхности улучшились до значений: СКО = 3.3 nm (∼λ/200) и σeff = 0.26 nm. Исследовано влияние размера зерна в суспензии на шероховатость и форму подложки.
Образец цитирования:
М. Н. Торопов, А. А. Ахсахалян, М. В. Зорина, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, Ю. М. Токунов, “Получение гладких высокоточных поверхностей методом механического притира”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1958–1964; Tech. Phys., 65:11 (2020), 1873–1879
N. I. Chkhalo, A. A. Akhsakhalyan, M. V. Zorina, M. N. Toropov, Yu. M. Tokunov, “Method for Obtaining Atomically Smooth Substrates from Single-Crystal Silicon by Mechanical Lapping”, Tech. Phys., 69:4 (2024), 812
M. N. Toropov, A. A. Akhsakhalyan, I. V. Malyshev, M. S. Mikhaylenko, A. E. Pestov, N. N. Salaschenko, A. K. Chernyshov, N. I. Chkhalo, “Wavefront Lens Corrector for Studying Flat Surfaces”, Tech. Phys., 69:3 (2024), 730
M. V. Zorina, M. S. Mikhailenko, A. E. Pestov, M. N. Toropov, A. K. Chernyshev, N. I. Chkhalo, S. K. Gordeev, V. V. Vitkin, “Diamond–Carbide–Silicon Composite “Skeleton” as a Promising Material for X-Ray Optical Substrates”, Tech. Phys., 69:3 (2024), 780
N. I. Chkhalo, “New Concept for the Development of High-Performance X-ray Lithography”, Russ Microelectron, 53:5 (2024), 397
N. I. Chkhalo, N. N. Salashchenko, “Current State and Prospects for the Development of X-Ray Lithography”, J. Surf. Investig., 17:1 (2023), 307
V. V. Lider, “Grazing-Incidence Focusing Optics for X-Ray Telescopes (Review)”, Instrum Exp Tech, 65:2 (2022), 191
Aleksei Chernyshev, Nikolay Chkhalo, Ilya Malyshev, Mikhail Mikhailenko, Alexey Pestov, Nikolay Salashchenko, Mikhail Toropov, “Axisymmetric surface shape correction of optical elements by a wide-aperture ion beam”, Appl. Opt., 61:33 (2022), 9879
Aleksei Chernyshev, Nikolay Chkhalo, Ilya Malyshev, Mikhail Mikhailenko, Alexey Pestov, Roman Pleshkov, Ruslan Smertin, Mikhail Svechnikov, Mikhail Toropov, “Matrix based algorithm for ion-beam figuring of optical elements”, Precision Engineering, 69 (2021), 29