Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js
Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2020, том 90, выпуск 11, страницы 1893–1897
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49980.143-20 (Mi jtf5158) 		 
Эта публикация цитируется в 14 научных статьях (всего в 14 статьях)

XXIV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 10--13 марта 2020 г.
Физика низкоразмерных структур

Многослойные зеркала Cr/Sc с улучшенным отражением для диапазона “окна прозрачности воды”

В. Н. Полковников, С. А. Гарахин, Д. C. Квашенников, И. В. Малышев, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Р. М. Смертин, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
PDF полного текста (231 kB) Список цитирования (14)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49980.143-20
Аннотация: Изучены свойства многослойных зеркал Cr/Sc, синтезированных при пониженном значении электрической мощности на магнетронном разряде. Найдены модельные структурные параметры таких зеркал. Получен рекордный коэффициент отражения 21% на длине волны 3.12 nm.
Ключевые слова: микроскопия, “водное окно”, многослойные зеркала, рентгеновское излучение, магнетронное напыление.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 0035-2014-0204
Российский фонд фундаментальных исследований 20-02-00364
Работа выполнена в рамках государственного задания № 0035-2014-0204 и при поддержке гранта РФФИ № 20-02-00364 с использованием оборудования ЦКП “Физика и технологии микро- и наноструктур” при ИФМ РАН.
Поступила в редакцию: 22.04.2020
Исправленный вариант: 22.04.2020
Принята в печать: 22.04.2020
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2020, Volume 65, Issue 11, Pages 1809–1813
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784220110225
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. Н. Полковников, С. А. Гарахин, Д. C. Квашенников, И. В. Малышев, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Р. М. Смертин, Н. И. Чхало, “Многослойные зеркала Cr/Sc с улучшенным отражением для диапазона “окна прозрачности воды””, ЖТФ, 90:11 (2020), 1893–1897; Tech. Phys., 65:11 (2020), 1809–1813
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PolGarKva20}
\by В.~Н.~Полковников, С.~А.~Гарахин, Д.~C.~Квашенников, И.~В.~Малышев, Н.~Н.~Салащенко, М.~В.~Свечников, Р.~М.~Смертин, Н.~И.~Чхало
\paper Многослойные зеркала Cr/Sc с улучшенным отражением для диапазона ``окна прозрачности воды''
\jour ЖТФ
\yr 2020
\vol 90
\issue 11
\pages 1893--1897
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5158}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49980.143-20}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=44588719}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2020
\vol 65
\issue 11
\pages 1809--1813
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784220110225}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5158
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v90/i11/p1893
    • Эта публикация цитируется в следующих 14 статьяx:
    1. R. M. Smertin, M. M. Barysheva, N. I. Chkhalo, S. A. Garakhin, I. V. Malyshev, V. N. Polkovnikov, “Effects of interface-engineering on the internal structure and reflective characteristics of Cr/Sc multilayer mirrors”, Opt. Express, 32:15 (2024), 26583  crossref
    2. Evgueni Meltchakov, Blandine Capitanio, Sébastien de Rossi, Irène Papagiannouli, Pascal Mercère, Franck Delmotte, “Optimization of Cr/Sc-based multilayer mirrors for water window soft x-rays”, Opt. Lett., 49:12 (2024), 3420  crossref
    3. А. В. Соломонов, С. С. Сахоненков, Е. О. Филатова, “Изучение влияния барьерных слоев Si и Be на кристаллизацию многослойного рентгеновского зеркала Cr/Sc”, Kristallografiâ, 69:1 (2024), 84  crossref
    4. N. I. Chkhalo, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, R. A. Shaposhnikov, “Prospective Wavelengths for Projection Lithography Using Synchrotron Radiation”, Tech. Phys., 69:4 (2024), 818  crossref
    5. M. M. Barysheva, S. A. Garakhin, A. Ya. Lopatin, V. I. Luchin, I. V. Malyshev, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, N. I. Chkhalo, “Search for High-Strength Multilayer Free-Standing Film Filters with High Transmittance in the Wavelength Range of the “Water Window” (2.3–4.4 nm)”, Tech. Phys., 69:4 (2024), 785  crossref
    6. Ya. V. Rakshun, Yu. V. Khomyakov, V. A. Chernov, I. A. Shchelokov, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, D. G. Reunov, M. N. Toropov, N. I. Chkhalo, “Project of Scanning and Projection Microscopes for the Nanoscopy Station for Biological Research in the “Water Transparency Window””, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2023, № 5, 3  crossref
    7. D. IJpes, A. E. Yakshin, J. M. Sturm, M. D. Ackermann, “Interface smoothing in short-period W/B4C multilayers using neon ion beam polishing”, Journal of Applied Physics, 134:24 (2023)  crossref
    8. I. V. Malyshev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, D. G. Reunov, M. N. Toropov, N. I. Chkhalo, Ya. V. Rakshun, Yu. V. Khomyakov, V. A. Chernov, I. A. Shchelokov, “On the Project of Scanning and Projection Microscopes for the Nanoscope Station for Biological Research in the Water Window”, J. Surf. Investig., 17:3 (2023), 531  crossref
    9. D. IJpes, A. E. Yakshin, J. M. Sturm, M. D. Ackermann, “Implementing 0.1 nm B4C barriers in ultrashort period 1.0 nm W/Si multilayers for increased soft x-ray reflectance”, Journal of Applied Physics, 133:24 (2023)  crossref
    10. E.O. Filatova, S.S. Sakhonenkov, A.V. Solomonov, R.M. Smertin, V.N. Polkovnikov, “Refined thermal stability of Cr/Sc multilayers with Si(Be) barrier layers”, Applied Surface Science, 611 (2023), 155743  crossref
    11. Chengyou Lin, Taolve Yang, Shujing Chen, “Compression of attosecond water window pulse by stacked Cr/Sc multilayer mirror with chirped structure”, Appl. Phys. B, 128:9 (2022)  crossref
    12. Taolve Yang, Shujing Chen, Chengyou Lin, “Design of a broadband reflection mirror for the water window region using a stacked multilayer with optimized structure”, J. Opt., 24:4 (2022), 045001  crossref
    13. Roman Pleshkov, Nikolay Chkhalo, Vladimir Polkovnikov, Mikhail Svechnikov, Maria Zorina, “Intrinsic roughness and interfaces of Cr/Be multilayers”, J Appl Crystallogr, 54:6 (2021), 1747  crossref
    14. Niranjan Kumar, Alexey T. Kozakov, Aleksey V. Nezhdanov, Sergey A. Garakhin, Vladimir N. Polkovnikov, Nikolay I. Chkhalo, Aleksandr I. Mashin, Anatolay V. Nikolskii, Anton A. Scrjabin, “Phonon, plasmon and electronic properties of surfaces and interfaces of periodic W/Si and Si/W multilayers”, Phys. Chem. Chem. Phys., 23:28 (2021), 15076  crossref
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:91
    PDF полного текста:54
     
      Обратная связь:
    math-net2025_03@mi-ras.ru     		 Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025