Аннотация:
Изучены свойства многослойных зеркал Cr/Sc, синтезированных при пониженном значении электрической мощности на магнетронном разряде. Найдены модельные структурные параметры таких зеркал. Получен рекордный коэффициент отражения 21% на длине волны 3.12 nm.
Работа выполнена в рамках государственного задания № 0035-2014-0204 и при поддержке гранта РФФИ
№ 20-02-00364 с использованием оборудования ЦКП “Физика и технологии микро- и наноструктур” при ИФМ РАН.
Поступила в редакцию: 22.04.2020 Исправленный вариант: 22.04.2020 Принята в печать: 22.04.2020
Образец цитирования:
В. Н. Полковников, С. А. Гарахин, Д. C. Квашенников, И. В. Малышев, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Р. М. Смертин, Н. И. Чхало, “Многослойные зеркала Cr/Sc с улучшенным отражением для диапазона “окна прозрачности воды””, ЖТФ, 90:11 (2020), 1893–1897; Tech. Phys., 65:11 (2020), 1809–1813