Аннотация:
Изучены свойства многослойных зеркал Cr/Sc, синтезированных при пониженном значении электрической мощности на магнетронном разряде. Найдены модельные структурные параметры таких зеркал. Получен рекордный коэффициент отражения 21% на длине волны 3.12 nm.
Работа выполнена в рамках государственного задания № 0035-2014-0204 и при поддержке гранта РФФИ
№ 20-02-00364 с использованием оборудования ЦКП “Физика и технологии микро- и наноструктур” при ИФМ РАН.
Поступила в редакцию: 22.04.2020 Исправленный вариант: 22.04.2020 Принята в печать: 22.04.2020
Образец цитирования:
В. Н. Полковников, С. А. Гарахин, Д. C. Квашенников, И. В. Малышев, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Р. М. Смертин, Н. И. Чхало, “Многослойные зеркала Cr/Sc с улучшенным отражением для диапазона “окна прозрачности воды””, ЖТФ, 90:11 (2020), 1893–1897; Tech. Phys., 65:11 (2020), 1809–1813
R. M. Smertin, M. M. Barysheva, N. I. Chkhalo, S. A. Garakhin, I. V. Malyshev, V. N. Polkovnikov, “Effects of interface-engineering on the internal structure and reflective characteristics of Cr/Sc multilayer mirrors”, Opt. Express, 32:15 (2024), 26583
Evgueni Meltchakov, Blandine Capitanio, Sébastien de Rossi, Irène Papagiannouli, Pascal Mercère, Franck Delmotte, “Optimization of Cr/Sc-based multilayer mirrors for water window soft x-rays”, Opt. Lett., 49:12 (2024), 3420
А. В. Соломонов, С. С. Сахоненков, Е. О. Филатова, “Изучение влияния барьерных слоев Si и Be на кристаллизацию многослойного рентгеновского зеркала Cr/Sc”, Kristallografiâ, 69:1 (2024), 84
N. I. Chkhalo, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, R. A. Shaposhnikov, “Prospective Wavelengths for Projection Lithography Using Synchrotron Radiation”, Tech. Phys., 69:4 (2024), 818
M. M. Barysheva, S. A. Garakhin, A. Ya. Lopatin, V. I. Luchin, I. V. Malyshev, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, N. I. Chkhalo, “Search for High-Strength Multilayer Free-Standing Film Filters with High Transmittance in the Wavelength Range of the “Water Window” (2.3–4.4 nm)”, Tech. Phys., 69:4 (2024), 785
Ya. V. Rakshun, Yu. V. Khomyakov, V. A. Chernov, I. A. Shchelokov, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, D. G. Reunov, M. N. Toropov, N. I. Chkhalo, “Project of Scanning and Projection Microscopes for the Nanoscopy Station for Biological Research in the “Water Transparency Window””, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2023, № 5, 3
D. IJpes, A. E. Yakshin, J. M. Sturm, M. D. Ackermann, “Interface smoothing in short-period W/B4C multilayers using neon ion beam polishing”, Journal of Applied Physics, 134:24 (2023)
I. V. Malyshev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, D. G. Reunov, M. N. Toropov, N. I. Chkhalo, Ya. V. Rakshun, Yu. V. Khomyakov, V. A. Chernov, I. A. Shchelokov, “On the Project of Scanning and Projection Microscopes for the Nanoscope Station for Biological Research in the Water Window”, J. Surf. Investig., 17:3 (2023), 531
D. IJpes, A. E. Yakshin, J. M. Sturm, M. D. Ackermann, “Implementing 0.1 nm B4C barriers in ultrashort period 1.0 nm W/Si multilayers for increased soft x-ray reflectance”, Journal of Applied Physics, 133:24 (2023)
Chengyou Lin, Taolve Yang, Shujing Chen, “Compression of attosecond water window pulse by stacked Cr/Sc multilayer mirror with chirped structure”, Appl. Phys. B, 128:9 (2022)
Taolve Yang, Shujing Chen, Chengyou Lin, “Design of a broadband reflection mirror for the water window region using a stacked multilayer with optimized structure”, J. Opt., 24:4 (2022), 045001
Roman Pleshkov, Nikolay Chkhalo, Vladimir Polkovnikov, Mikhail Svechnikov, Maria Zorina, “Intrinsic roughness and interfaces of Cr/Be multilayers”, J Appl Crystallogr, 54:6 (2021), 1747
Niranjan Kumar, Alexey T. Kozakov, Aleksey V. Nezhdanov, Sergey A. Garakhin, Vladimir N. Polkovnikov, Nikolay I. Chkhalo, Aleksandr I. Mashin, Anatolay V. Nikolskii, Anton A. Scrjabin, “Phonon, plasmon and electronic properties of surfaces and interfaces of periodic W/Si and Si/W multilayers”, Phys. Chem. Chem. Phys., 23:28 (2021), 15076