Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2020, том 90, выпуск 11, страницы 1870–1875
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49977.135-20 (Mi jtf5155) 		 
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)

XXIV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 10--13 марта 2020 г.
Физика низкоразмерных структур

Сглаживающий эффект Si-слоев в многослойных зеркалах Be/Al для спектрального диапазона 17–31 nm

Р. С. Плешковa, С. Ю. Зуевa, В. Н. Полковниковa, Н. Н. Салащенкоa, М. В. Свечниковa, Н. И. Чхалоa, P. Jonnardb

a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Laboratoire de Chimie Physique – MatièreetRayonnement, UPMC Univ Paris 06/CNRS UMR 761411 Paris, France
PDF полного текста (470 kB) Список цитирования (7)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49977.135-20
Аннотация: Представлены результаты исследования сглаживающего эффекта тонких пленок Si, примененных в качестве буферных слоев в многослойных зеркалах Be/Al, оптимизированных для работы на длинах волн больше 17.1 nm. Исследованы многослойные зеркала околонормального (угол скольжения 88∘∘) и скользящего падения (угол скольжения 33.5∘∘). Показано, что эффект наблюдался для многослойных зеркал Be/Si/Al с периодами, по крайней мере, до 29 nm. Для зеркал нормального падения, оптимизированных на длину волны 17.14 nm, получен рекордный пиковый коэффициент отражения 62.5% при спектральной селективности λ/Δλλ/Δλ = 59. Исследована временная стабильность данных зеркал.
Ключевые слова: рентгеновское излучение, многослойные зеркала, магнетронное распыление, сглаживающий барьерный слой.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 0035-2014-0204
Российский фонд фундаментальных исследований 18-02-00588
19-32-90154
Работа выполнена в рамках государственного задания № 0035-2014-0204 и при поддержке грантов РФФИ № 18-02-00588, 19-32-90154 с использованием оборудования ЦКП “Физика и технологии микро- и наноструктур” при ИФМ РАН.
Поступила в редакцию: 16.04.2020
Исправленный вариант: 16.04.2020
Принята в печать: 16.04.2020
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2020, Volume 65, Issue 11, Pages 1786–1791
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784220110201
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Р. С. Плешков, С. Ю. Зуев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, P. Jonnard, “Сглаживающий эффект Si-слоев в многослойных зеркалах Be/Al для спектрального диапазона 17–31 nm”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1870–1875; Tech. Phys., 65:11 (2020), 1786–1791
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PleZuePol20}
\by Р.~С.~Плешков, С.~Ю.~Зуев, В.~Н.~Полковников, Н.~Н.~Салащенко, М.~В.~Свечников, Н.~И.~Чхало, P.~Jonnard
\paper Сглаживающий эффект Si-слоев в многослойных зеркалах Be/Al для спектрального диапазона 17--31 nm
\jour ЖТФ
\yr 2020
\vol 90
\issue 11
\pages 1870--1875
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5155}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49977.135-20}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=44588716}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2020
\vol 65
\issue 11
\pages 1786--1791
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784220110201}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5155
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v90/i11/p1870
    • Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:
    1. Aidar U. Gaisin, Elena O. Filatova, “Effect of low-temperature oxidation and heat treatment under vacuum on the Al–Be interdiffusion process”, Phys. Chem. Chem. Phys., 26:2 (2024), 780  crossref
    2. Khalil Hassebi, Evgueni Meltchakov, Franck Delmotte, Angelo Giglia, Philippe Jonnard, “Sc/SiC/Al Multilayer Optimization for Li K Spectroscopy”, Applied Sciences, 14:3 (2024), 956  crossref
    3. Suet Yi Liu, Yuya Iwamoto, Hiroki Mashiko, Satoshi Ichimaru, Masatoshi Hatayama, Eric M. Gullikson, Tomoya Mizuno, Takayuki Kurihara, Jiro Itatani, Hisataka Takenaka, “Development of a narrowband multilayer mirror for extracting a single order component from high harmonics in the 63–70  eV region”, Appl. Opt., 63:17 (2024), 4522  crossref
    4. S. A. Garakhin, A. Yu. Lopatin, A. N. Nechay, A. A. Perekalov, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, N. I. Chkhalo, “Dispersion Elements for X-ray Mirror Spectrometer on a Range of 7–30 nm”, Tech. Phys., 69:6 (2024), 1568  crossref
    5. Ruslan Smertin, Evgeny Antyushin, Ilya Malyshev, Masha Zorina, Nikolai Chkhalo, Pavel Yunin, Sergey Garakhin, Vladimir Polkovnikov, Yuliy Vainer, “Influence of silicon interlayers on the structural and reflective X-ray characteristics of Ni/Ti multilayer mirrors”, J Appl Crystallogr, 57:5 (2024), 1477  crossref
    6. Sergey Kuzin, Sergey Bogachev, Andrey Pertsov, Ivan Loboda, Viktor Chervinsky, Nikolay Chkhalo, Alexey Lopatin, Ilya Malyshev, Alexey Pestov, Roman Pleshkov, Vladimir Polkovnikov, Michael Toropov, Nikolay Tsybin, Sergey Zuev, “EUV telescope for a Cubesat nanosatellite”, Appl. Opt., 62:31 (2023), 8462  crossref
    7. Vladimir Polkonikov, Nikolai Chkhalo, Roman Pleshkov, Angelo Giglia, Nicolas Rividi, Emmanuelle Brackx, Karine Le Guen, Iyas Ismail, Philippe Jonnard, “Periodic Multilayer for X-ray Spectroscopy in the Li K Range”, Applied Sciences, 11:14 (2021), 6385  crossref
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:88
    PDF полного текста:36
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025