Аннотация:
Описаны метод изготовления и результаты исследований линзового корректора, преобразующего сферический расходящийся фронт в плоский и предназначенного для изучения плоских поверхностей в составе интерферометра с дифракционной волной сравнения. Особенностью корректора является использование асферической выпуклой поверхности с максимальным отклонением от ближайшей сферы $\sim$200 $\mu$m. Приведены первые экспериментальные результаты, указывающие на перспективы применения ионно-пучковой обработки для улучшения качества волнового фронта. После процедуры ионно-пучковой обработки аберрации по всей апертуре корректора уменьшились более чем в 4 раза и составили по параметру перепада высот PV = 207 nm ($\sim\lambda$/3) и среднеквадратичного отклонения (СКО) = 19.2 nm ($\sim\lambda$/33). На площади диаметром 80% аберрации упали до нанометрового уровня: PV = 65 nm ($\sim\lambda$/10) и СКО = 8.3 nm ($\sim\lambda$/76).
Работа выполнена в рамках государственного задания 0030-2021-0022 при поддержке грантов РФФИ № 20-02-00364 А, 20-32-90169 и 19-02-00081.
Поступила в редакцию: 14.04.2021 Исправленный вариант: 14.04.2021 Принята в печать: 14.04.2021
Реферативные базы данных:
Тип публикации:
Статья
Образец цитирования:
М. Н. Торопов, А. А. Ахсахалян, И. В. Малышев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, А. К. Чернышов, Н. И. Чхало, “Линзовый корректор волнового фронта для изучения плоских поверхностей”, ЖТФ, 91:10 (2021), 1583–1587
Aleksei Chernyshev, Nikolay Chkhalo, Ilya Malyshev, Mikhail Mikhailenko, Alexey Pestov, Nikolay Salashchenko, Mikhail Toropov, “Axisymmetric surface shape correction of optical elements by a wide-aperture ion beam”, Appl. Opt., 61:33 (2022), 9879