Многослойные зеркала нормального падения для экстремального ультрафиолетового излучения

Методом электронно-лучевого напыления изготовлены многослойные плоские и сферические зеркала на диапазон длин волн 125$-$450 Å с пиковыми коэффициентами отражения $\sim 20$%. Экспериментально показано, что они могут быть использованы для получения изображения с разрешением $\sim 1$ мкм. Показана возможность формирования с помощью сферических многослойных зеркал интенсивного направленного излучения, источником которого служит лазерная плазма. Экспериментально получена в плоскости изображения лазерного факела интенсивность излучения $10^{7}$ Вт/см$^{2}$ в области $\lambda=182$ Å.