Профили толщины пленок, напыляемых из лазерной эрозионной плазмы

Рассмотрены профили толщины пленок, напыляемых на подложки конденсацией эрозионной плазмы, создаваемой при воздействии излучения ХеСl лазера (${\lambda=308}$ мкм, ${\tau=20}$ нс) на графит и металлы в вакууме. Установлено, что угловое распределение эрозионного потока слабо зависит от лазерной интенсивности и материала мишени, а его ось нормальна к поверхности мишени. Если толщина пленки напыляемой за один лазерный импульс превышает 1 монослой, то возможно образование потока конденсирующихся частиц вдоль подложки, приводящего к расширению профиля толщины пленки. Показана возможность эффективного лазерно-плазменного напыления в остаточном газе при расстояниях от мишени до подложки, превышающих 10 длин свободного пробега.