|
Журнал технической физики, 1988, том 58, выпуск 5, страницы 930–935
(Mi jtf2853)
|
|
|
|
Влияние длины волны лазерного излучения на энергетический состав
эрозионной плазмы
В. П. Агеев, А. Д. Ахсахалян, С. В. Гапонов, А. А. Горбунов, В. И. Конов, В. И. Лучин
Аннотация:
Экспериментально исследовался разлет в вакуум плазмы,
образующейся при воздействии излучения ХеСl∗ лазера на твердую мишень.
Определен энергетический состав продуктов эрозии Al, Ti, Cu, W и GaAs
в диапазоне лазерных интенсивностей q∼0.1−1ГВт/см2.
На основании сравнения полученных результатов с данными, известными
для ИК диапазона облучения мишеней, показана перспективность
использования эксимерных лазеров в технологии вакуумного напыления пленок.
Образец цитирования:
В. П. Агеев, А. Д. Ахсахалян, С. В. Гапонов, А. А. Горбунов, В. И. Конов, В. И. Лучин, “Влияние длины волны лазерного излучения на энергетический состав
эрозионной плазмы”, ЖТФ, 58:5 (1988), 930–935
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf2853 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v58/i5/p930
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 101 | PDF полного текста: | 31 |
|