|
Журнал технической физики, 1985, том 55, выпуск 10, страницы 2064–2066
(Mi jtf1503)
|
|
|
|
Краткие сообщения
Формирование областей неоднородной компенсации в процессе получения
планарных кремниевых p−n переходов
Н. Т. Баграев, В. А. Машков, Р. П. Сейсян, В. Л. Суханов, Н. М. Шмидт Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград
Поступила в редакцию: 25.09.1984
Образец цитирования:
Н. Т. Баграев, В. А. Машков, Р. П. Сейсян, В. Л. Суханов, Н. М. Шмидт, “Формирование областей неоднородной компенсации в процессе получения
планарных кремниевых p−n переходов”, ЖТФ, 55:10 (1985), 2064–2066
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf1503 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v55/i10/p2064
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 61 | PDF полного текста: | 26 |
|