Аннотация:
Представлено исследование процессов при наноструктурировании стекла под действием одиночных жестко сфокусированных фемтосекундных лазерных импульсов с использованием селективного химического травления в растворе щелочи. Продемонстрировано создание структур с шириной до 50 нм, выявлена зависимость морфологии и размеров получаемых структур от параметров лазерного излучения и времени травления. Измерения флуоресценции стекла при варьировании поляризации и энергии лазерного импульса в широких пределах позволили обнаружить характер процессов нелинейного поглощения в образце. Полученные данные проливают свет на физико-химические процессы в стекле, приводящие к селективному химическому травлению, и демонстрируют преимущества данного метода над методом простой лазерной обработки стекла для создания сложных структур с субдифракционным разрешением.
Исследование выполнено при финансовой поддержке Российского Научного Фонда, соглашение # 17-73-10430, с использованием оборудования Центра коллективного пользования “Анализ химических, биологических систем и природных материалов: масс-спектральная микроскопия и фемтосекундная лазерная микроскопия-спектроскопия”
(# 506694) на базе Института химической физики РАН.
Поступила в редакцию: 16.11.2018 Исправленный вариант: 23.11.2018 Принята в печать: 26.12.2018
Образец цитирования:
А. М. Шахов, А. А. Астафьев, В. А. Надточенко, “Физико-химические механизмы наноструктурирования стекла фемтосекундными лазерными импульсами с использованием селективного травления”, Письма в ЖЭТФ, 109:5 (2019), 294–300; JETP Letters, 109:5 (2019), 292–297