Аннотация:
Неоднородное сверхлегирование поверхностного слоя
пластины кремния атомами серы с
концентрацией атомов легирующей примеси на уровне более
2⋅1021см−3 на глубине порядка
100 нм достигнуто путем его фемтосекундной лазерной
обработки в серосодержащей
жидкости. Инфракрасная (ИК) спектроскопия
сверхлегированного слоя демонстрирует отчетливые полосы
межзонного поглощения донорных центров серы, отсутствующие в исходном
материале, и широкую полосу поглощения свободных носителей с
концентрацией ∼1018см−3.
Относительно низкая плотность носителей связывается с равновесной
термической ионизацией локализованных состояний легирующей примеси в
сверхлегированном слое,
сохраняющем невырожденный характер вследствие необычно сильной
электрон-ионной связи в глубоких донорных состояниях.
Поступила в редакцию: 06.05.2014 Исправленный вариант: 05.06.2014
Образец цитирования:
А. А. Ионин, С. И. Кудряшов, С. В. Макаров, Н. Н. Мельник, А. А. Руденко, П. Н. Салтуганов, Л. В. Селезнев, Д. В. Синицын, И. А. Тимкин, Р. А. Хмельницкий, “Структурные и электрические свойства сверхлегированного
поверхностного слоя кремния с глубокими донорными состояниями серы”, Письма в ЖЭТФ, 100:1 (2014), 59–63; JETP Letters, 100:1 (2014), 55–58
Kudryashov S., Boldyrev K., Nastulyavichus A., Prikhod'ko D., Tarelkin S., Kirilenko D., Brunkov P., Shakhmin A., Khamidullin K., Krasin G., Kovalev M., Opt. Mater. Express, 11:11 (2021), 3792–3800
Kudryashov S., Nastulyavichus A., Kirilenko D., Brunkov P., Shakhmin A., Rudenko A., Melnik N., Khmelnitskii R., Martovitskii V., Uspenskaya M., Prikhodko D., Tarelkin S., Galkin A., Drozdova T., Ionin A., ACS Appl. Electron. Mater., 3:2 (2021), 769–777
Ch.-Yu. Shih, I. Gnilitskyi, M. V. Shugaev, E. Skoulas, E. Stratakis, L. V. Zhigilei, Nanoscale, 12:14 (2020), 7674–7687
Ch. Jiang, D. Oshima, S. Iwata, Ph. W. T. Pong, T. Kato, J. Nanopart. Res., 22:1 (2019), 1
S. I. Kudryashov, L. V. Nguyen, D. A. Kirilenko, P. N. Brunkov, A. A. Rudenko, N. I. Busleev, A. L. Shakhmin, A. V. Semencha, R. A. Khmelnitsky, N. N. Melnik, I. N. Saraeva, A. A. Nastulyavichus, A. A. Ionin, E. R. Tolordava, Yu. M. Romanova, ACS Appl. Nano Mater., 1:6 (2018), 2461–2468