Processing math: 100%
Международный научно-исследовательский журнал
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Междунар. науч.-исслед. журн.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Международный научно-исследовательский журнал, 2013, , выпуск 10(17), страницы 22–24 (Mi irj504)  
ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ

Оптимальные режимы работы дуальных магнетронов для осаждения тонких пленок TiO2

Д. В. Сиделёв, Ю. Н. Юрьев

Национальный исследовательский Томский политехнический университет
PDF полного текста (542 kB)
Список литературы:
PDF
HTML
Аннотация: Исследования оптических свойств тонких пленок TiO2, полученных при помощи дуальной магнетронной распылительной системы (МРС), свидетельствуют о зависимости характеристик пленок от их структурных особенностей, которые определяются режимом работы МРС и конфигурацией магнитного поля магнетрона.
Ключевые слова: магнетронное распыление, дуальный магнетрон, тонкие пленки.
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Д. В. Сиделёв, Ю. Н. Юрьев, “Оптимальные режимы работы дуальных магнетронов для осаждения тонких пленок TiO2”, Междунар. науч.-исслед. журн., 2013, № 10(17), 22–24
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SidYur13}
\by Д.~В.~Сиделёв, Ю.~Н.~Юрьев
\paper Оптимальные режимы работы дуальных магнетронов для осаждения тонких пленок TiO$_2$
\jour Междунар. науч.-исслед. журн.
\yr 2013
\issue 10(17)
\pages 22--24
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/irj504}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/irj504
  • https://www.mathnet.ru/rus/irj/v17/i10/p22
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Международный научно-исследовательский журнал
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:63
    PDF полного текста:33
    Список литературы:22
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025