Loading [MathJax]/jax/output/CommonHTML/jax.js
Доклады Академии наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Докл. РАН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Доклады Академии наук, 1981, том 257, номер 5, страницы 1110–1113 (Mi dan44389)  
ФИЗИКА

Отжиг имплантированных слоев кремния излучением импульсного CO2-лазера

М. Ф. Галяутдинов, Ю. К. Данилейко, М. М. Зарипов, А. А. Маненков, А. В. Сидорин, И. Б. Хайбуллин, Е. И. Штырков

Физический институт им. П. Н. Лебедева АН СССР, г. Москва
PDF полного текста (646 kB)
Статья представлена к публикации: A. М. Прохоров
Поступило: 10.11.1980
Тип публикации: Статья
УДК: 621.315.592
Образец цитирования: М. Ф. Галяутдинов, Ю. К. Данилейко, М. М. Зарипов, А. А. Маненков, А. В. Сидорин, И. Б. Хайбуллин, Е. И. Штырков, “Отжиг имплантированных слоев кремния излучением импульсного CO2-лазера”, Докл. АН СССР, 257:5 (1981), 1110–1113
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{GalDanZar81}
\by М.~Ф.~Галяутдинов, Ю.~К.~Данилейко, М.~М.~Зарипов, А.~А.~Маненков, А.~В.~Сидорин, И.~Б.~Хайбуллин, Е.~И.~Штырков
\paper Отжиг имплантированных слоев кремния излучением импульсного $\mathrm{CO}_2$-лазера
\jour Докл. АН СССР
\yr 1981
\vol 257
\issue 5
\pages 1110--1113
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/dan44389}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/dan44389
  • https://www.mathnet.ru/rus/dan/v257/i5/p1110
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:129
    PDF полного текста:51
    Список литературы:2
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025